A prototype femtosecond laser system for MEMS fabrication

Katarzyna Garasz; Marek Kocik; Robert Barbucha; Mateusz Tański; Jerzy Mizeraczyk; Michał Nejbauer; Czesław Radzewicz

doi:10.1117/12.2030552

A prototype femtosecond laser system for MEMS fabrication

Abstract

n this article, the concept of a prototype femtosecond laser micromachining system and a femtosecond solid-state Yb:KYW laser is presented. Ultrashort laser pulses have many advantages over the long pulses in laser micromachining, due to their unique ability to interact with different materials without transferring heat to them. This allows very precise and pure laser-processing, clean cuts and sharp edges. A femtosecond laser micromachining device presented in this article is equipped with high-precision galvo scanner, quality optical elements and automatic process supporting tools, resulting in the maximum use of the femtosecond laser potential for precise micromachining and MEMS fabrication.

Citations

0

CrossRef
0

Web of Science
0

Scopus

Authors (7)

Katarzyna Garasz
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Marek Kocik
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Robert Barbucha
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Mateusz Tański
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Jerzy Mizeraczyk
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN; Akademia Morska w Gdyni Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej; Wydział Elektryczny
Michał Nejbauer
- Instytut Chemii Fizycznej PAN Centrum Laserowe
Czesław Radzewicz
- Instytut Chemii Fizycznej PAN Centrum Laserowe

Cite as

Full text

full text is not available in portal

Keywords

Details

Category:: Conference activity
Type:: publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
Title of issue:: Electron Technology Conference 2013 strony 1 - 6
Language:: English
Publication year:: 2013
Bibliographic description:: Garasz K., Kocik M., Barbucha R., Tański M., Mizeraczyk J., Nejbauer M., Radzewicz C.: A prototype femtosecond laser system for MEMS fabrication// Electron Technology Conference 2013/ : , 2013, s.1-6
DOI:: Digital Object Identifier (open in new tab) 10.1117/12.2030552
Verified by:: Gdańsk University of Technology