Marcin Leśniewski
Zatrudnienie
Kontakt dla biznesu
Centrum Transferu Wiedzy i Technologii
- Lokalizacja
- Al. Zwycięstwa 27, 80-219 Gdańsk
- Telefon
- +48 58 348 62 62
- biznes@pg.edu.pl
Kontakt
- Brak danych
Wybrane publikacje
-
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
Przedstawiono prototyp optoelektronicznego systemu do monitorowania in-situ procesu CVD, wspomaganych plazmą mikrofalową. System składa się z układu optycznej spektroskopii emisyjnej OES oraz specjalizowanego spektroskopu ramanowskiego RS. Umożliwia on równoczesne monitorowanie składu plazmy oraz określanie dynamiki wzrostu i zawartości defektów warstwy. Przedstawiono wyniki badań przebiegu procesu wytwarzania warstw diamentopodobnych...
wyświetlono 454 razy