Abstract
Praca dotyczy optoelektronicznego monitoringu wyładowań jarzeniowych podczas syntezy diamentu cienkowarstwowego. Analizę składu plazmy wykonano za pomoca optycznej spektroskopii emisyjnej. Badania mają na celu zdalne określenie składu plazmy oraz jego wpływu na systezę warstw diamentopodobnych.
Citations
-
1 3
CrossRef
-
0
Web of Science
-
2 1
Scopus
Authors (3)
Cite as
Full text
full text is not available in portal
Keywords
Details
- Category:
- Articles
- Type:
- artykuł w czasopiśmie z listy filadelfijskiej
- Published in:
-
JOURNAL DE PHYSIQUE IV
no. 137,
pages 57 - 60,
ISSN: 1155-4339 - Language:
- English
- Publication year:
- 2006
- Bibliographic description:
- Bogdanowicz R., Gnyba M., Wroczyński P.: Optoelectronic monitoring of plasma discharge optimized for thin diamond film synthesis// JOURNAL DE PHYSIQUE IV. -Vol. 137., (2006), s.57-60
- DOI:
- Digital Object Identifier (open in new tab) 10.1051/jp4:2006137011
- Verified by:
- Gdańsk University of Technology
seen 106 times
Recommended for you
Mobility measurements in oxide semiconductors
- E. Prociów,
- M. S. Łapiński,
- J. Domaradzki
- + 3 authors
2009