Design and fabrication of nanometer measurement platform for better understanding of silicon mechanical properties - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Design and fabrication of nanometer measurement platform for better understanding of silicon mechanical properties

Abstrakt

Cytowania

  • 0

    CrossRef

  • 0

    Web of Science

  • 0

    Scopus

Autorzy (4)

  • Zdjęcie użytkownika dr inż. Maciej Haras

    Maciej Haras dr inż.

  • Zdjęcie użytkownika  Jean-François Robillard

    Jean-François Robillard

  • Zdjęcie użytkownika  Thomas Skotnicki

    Thomas Skotnicki

  • Zdjęcie użytkownika  Emmanuel Dubois

    Emmanuel Dubois

Cytuj jako

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
Publikacja w czasopiśmie
Opublikowano w:
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS nr 134, wydanie 2,
ISSN: 0021-8979
ISSN:
0021-8979
Rok wydania:
2023
DOI:
Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1063/5.0152192
Weryfikacja:
Brak weryfikacji

wyświetlono 5 razy

Meta Tagi