Mechanical lithography in a polymer substrate using AFM in contact mode

Opis

Mechanical lithography in a polymer substrate. Contact mode. NTEGRA Prima (NT-MDT) device. NSG 01 probe.

In one of the easier lithographic techniques that can be implemented with an atomic force microscope, the probe tip is displaced under relatively strong loading forces, removing portions of compliant material along its path. This technique uses the plowing principle in the same way as a traditional tool: material is removed from the ground in a strictly defined manner, leaving a deep "excavation" with the desired layout. The presented results refer to the demonstration application of this type of lithography, however, the demonstrated technique can also be used in scientific applications, such as manipulation of graphene structures: B. Vasić, M. Kratzer, A. Matković, A. Nevosad, U. Ralević, D. Jovanović, C. Ganser, C. Teichert, R. Gajić, Atomic force microscopy-based manipulation of graphene using dynamic plowing lithography, Nanotechnology. 24 (2012) 15303. doi:10.1088/0957-4484/24/1/015303. File contains 4 images.

Plik z danymi badawczymi

Set9.mdt

535.9 kB, S3 ETag 0af13da0206efe94d1fc3fb81a327240-1, pobrań: 43

Hash pliku liczony jest ze wzoru
hexmd5(md5(part1)+md5(part2)+...)-{parts_count} gdzie pojedyncza część pliku jest wielkości 512 MB

Przykładowy skrypt do wyliczenia:
https://github.com/antespi/s3md5

pobierz

Informacje szczegółowe o pliku

Licencja:: otwiera się w nowej karcie

CC BY-NC

Użycie niekomercyjne
Oprogramowanie:: Gwyddion

Informacje szczegółowe

Rok publikacji:

2021

Data zatwierdzenia:

2021-04-29

Język danych badawczych:

angielski

Dyscypliny:

nauki chemiczne (Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych)

DOI:

10.34808/2x57-7z93

Seria:

Scanning Probe Microscopies data

Weryfikacja:

Politechnika Gdańska

Słowa kluczowe

Cytuj jako

Autorzy

wyświetlono 124 razy

Wyszukiwarka