Silicon microcantilever with impedance sensor

Opis

The issue of microelectromechanical systems (MEMS) [1] has been enjoying popularity and interest since the 90s of the 20th century. Microcells are one of the simplest devices of this type, but they can be widely used in sensors. There are reports on the possibility of using this type of sensors in the context of such important issues as diagnostics of prostate cancer, myocardial infarction and glycemic monitoring. There is even the concept of creating a miniaturized biochip based on a series of microcantilever cells that can simultaneously detect several routinely diagnosed diseases in a clinical laboratory in combination with ultra-high sensitivity and high throughput. This collection contains 8 images of the microcantilever surface and its integrated impedance sensor elements. Imaging was performed in the semi-contact technique with the use of the NSG30 probe.

Reference:

[1] S. N. Trimmer, Microrobots and micromechanical systems. Sensors and Actuators, 19(3) (1989) 267–287, DOI:10.1016/0250-6874(89)87079-9

Plik z danymi badawczymi

Set13.mdt

1.0 MB, S3 ETag b15c78078a4756d34324c1b6d44d0126-1, pobrań: 18

Hash pliku liczony jest ze wzoru
hexmd5(md5(part1)+md5(part2)+...)-{parts_count} gdzie pojedyncza część pliku jest wielkości 512 MB

Przykładowy skrypt do wyliczenia:
https://github.com/antespi/s3md5

pobierz

Informacje szczegółowe o pliku

Licencja:: otwiera się w nowej karcie

CC BY

Uznanie autorstwa
Dane surowe:: Dane zawarte w datasecie nie zostały w żaden sposób przetworzone.
Oprogramowanie:: Gwyddion

Informacje szczegółowe

Rok publikacji:

2021

Data zatwierdzenia:

2021-08-06

Język danych badawczych:

angielski

Dyscypliny:

inżynieria materiałowa (Dziedzina nauk inżynieryjno-technicznych)
nauki chemiczne (Dziedzina nauk ścisłych i przyrodniczych)

DOI:

10.34808/m10c-xs53

Seria:

Scanning Probe Microscopies data

Weryfikacja:

Politechnika Gdańska

Słowa kluczowe

Cytuj jako

Autorzy

wyświetlono 86 razy

Wyszukiwarka