Plasma diagnostics of low pressure high power impulse magnetron sputtering assisted by electron cyclotron wave resonance plasma - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Plasma diagnostics of low pressure high power impulse magnetron sputtering assisted by electron cyclotron wave resonance plasma

Abstrakt

Cytowania

  • 1 3

    CrossRef

  • 1 3

    Web of Science

  • 1 5

    Scopus

Autorzy

  • Zdjęcie użytkownika  Vitezslav Stranak

    Vitezslav Stranak

  • Zdjęcie użytkownika  Ann-Pierra Herrendorf

    Ann-Pierra Herrendorf

  • Zdjęcie użytkownika  Steffen Drache

    Steffen Drache

  • Zdjęcie użytkownika  Martin Cada

    Martin Cada

  • Zdjęcie użytkownika  Zdenek Hubicka

    Zdenek Hubicka

  • Zdjęcie użytkownika dr hab. inż. Robert Bogdanowicz

    Robert Bogdanowicz dr hab. inż.

  • Zdjęcie użytkownika  Milan Tichy

    Milan Tichy

  • Zdjęcie użytkownika  Rainer Hippler

    Rainer Hippler

Pełna treść

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
Publikacja w czasopiśmie
Opublikowano w:
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS nr 112, wydanie 9,
ISSN: 0021-8979
ISSN:
0021-8979
Rok wydania:
2012
DOI:
Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1063/1.4764102
Weryfikacja:
Brak weryfikacji

wyświetlono 7 razy

Meta Tagi