Wyszukiwarka
Plasma diagnostics of low pressure high power impulse magnetron sputtering assisted by electron cyclotron wave resonance plasma
Abstrakt
Cytowania
-
1 8
CrossRef
-
0
Web of Science
-
2 1
Scopus
Autorzy (8)
-
Vitezslav Stranak
-
Ann-Pierra Herrendorf
-
Steffen Drache
-
Martin Cada
-
Zdenek Hubicka
-
-
Milan Tichy
-
Rainer Hippler
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- Publikacja w czasopiśmie
- Opublikowano w:
-
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
nr 112,
wydanie 9,
ISSN: 0021-8979 - ISSN:
- 0021-8979
- Rok wydania:
- 2012
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1063/1.4764102
- Weryfikacja:
- Brak weryfikacji
wyświetlono 145 razy