Abstrakt
This study presents the microsphere-based fiber-optic sensor with the ZnO Atomic Layer Deposition coating thickness of 100 nm and 200 nm for temperature measurements. Metrological properties of the sensor were investigated over the temperature range from 100 °C to 300 °C, with a 10 °C step. The interferometric signal was used to monitor the integrity of the microsphere and its attachment to the connecting fiber. For the sensor with a 100 nm coating, a spectrum shift of the reflected signal and the optical power of the reflected signal were used to measure temperature, while only the optical power of the reflected signal was used in the sensor with a 200 nm coating. The R2 coefficient of the discussed sensors indicates a linear fit of over 0.99 to the obtained data. The sensitivity of the sensors, investigated in this study, equals 103.5 nW/°C and 19 pm/°C or 11.4 nW/°C for ZnO thickness of 200 nm and 100 nm, respectively.
Cytowania
-
2
CrossRef
-
0
Web of Science
-
3
Scopus
Autorzy (4)
Cytuj jako
Pełna treść
- Wersja publikacji
- Accepted albo Published Version
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.3390/s21154982
- Licencja
- otwiera się w nowej karcie
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuły w czasopismach
- Opublikowano w:
-
SENSORS
nr 21,
ISSN: 1424-8220 - Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2021
- Opis bibliograficzny:
- Listewnik P., Bechelany M., Wierzba P., Szczerska M.: Optical-Fiber Microsphere-Based Temperature Sensors with ZnO ALD Coating—Comparative Study// SENSORS -Vol. 21,iss. 15 (2021), s.4982-
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.3390/s21154982
- Źródła finansowania:
-
- Działalność statutowa/subwencja
- IDUB
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 127 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
ZnO ALD-Coated Microsphere-Based Sensors for Temperature Measurements
- P. Listewnik,
- M. Bechelany,
- J. B. Jasinski
- + 1 autorów