Surface quality control of a thin SiN layer by optical measurements - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Surface quality control of a thin SiN layer by optical measurements

Abstrakt

Fiber optic interferometers have a wide range of applications, including biological and chemical measurements. Nevertheless, in the case of a reflective interferometer setup, standard silver mirrors cannot be used in every measurement, due to their chemical activity. This work investigates the surface quality of a thin optical layer of silicon nitride (SiN), which can serve as an alternative material for silver mirrors. We present measurements carried out with a Fabry-Perot fiber-optic interferometer working in a reflective mode. Measurement results allow us to determine the surface quality of the investigated layer.

Cytowania

  • 0

    CrossRef

  • 0

    Web of Science

  • 0

    Scopus

Cytuj jako

Słowa kluczowe

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuły w czasopismach
Opublikowano w:
Photonics Letters of Poland nr 13, strony 61 - 63,
ISSN: 2080-2242
Język:
angielski
Rok wydania:
2021
Opis bibliograficzny:
Gierowski J., Pawłowska S.: Surface quality control of a thin SiN layer by optical measurements// Photonics Letters of Poland -Vol. 13,iss. 3 (2021), s.61-63
DOI:
Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.4302/plp.v13i3.1096
Źródła finansowania:
  • Działalność statutowa/subwencja
  • IDUB
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 119 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi