Przedstawiono preparatykę czujników wilgotności na bazie nanoporowatego tlenku glinu. Wykorzystano spektroskopię impedancyjną do określenia właściwości czujników. Porównano właściwości czujników przygotowanych z różnymi parametrami procesu technologicznego.

W pracy przedstawiono opis technologii przygotowania czujników wilgotności na bazie nanoporowatego Al2O3. Celem badań było określenie związku pomiędzy parametrami procesu technologicznego a parametrami warstwy porowatej i właściwościami elektrycznymi czujnika. Strukturę powierzchni czujnika określono z wykorzystaniem elektronowej mikroskopii skaningowej. Spektroskopia impedancyjna została wykorzystana do określenia parametrów elektrycznych.