Marcin Leśniewski
Zatrudnienie
Publikacje
Filtry
wszystkich: 1
Katalog Publikacji
Rok 2008
-
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
PublikacjaPrzedstawiono prototyp optoelektronicznego systemu do monitorowania in-situ procesu CVD, wspomaganych plazmą mikrofalową. System składa się z układu optycznej spektroskopii emisyjnej OES oraz specjalizowanego spektroskopu ramanowskiego RS. Umożliwia on równoczesne monitorowanie składu plazmy oraz określanie dynamiki wzrostu i zawartości defektów warstwy. Przedstawiono wyniki badań przebiegu procesu wytwarzania warstw diamentopodobnych...
wyświetlono 454 razy