Marcin Leśniewski - Publikacje - MOST Wiedzy

Marcin Leśniewski

Zatrudnienie

Brak danych

Słowa kluczowe Pomoc

Publikacje

wyników na stronę:
rok:
- zaznaczony Sortuj po rok od najnowszych
- Sortuj po rok od najstarszych
tytuł:
- zaznaczony Sortuj po tytuł A-Z
- Sortuj po tytuł Z-A
cytowania:
- Sortuj po cytowania malejąco
- Sortuj po cytowania rosnąco

Filtry

wszystkich: 1

Rok 2008

System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
Publikacja
- Measurement Automation Monitoring - Rok 2008
Przedstawiono prototyp optoelektronicznego systemu do monitorowania in-situ procesu CVD, wspomaganych plazmą mikrofalową. System składa się z układu optycznej spektroskopii emisyjnej OES oraz specjalizowanego spektroskopu ramanowskiego RS. Umożliwia on równoczesne monitorowanie składu plazmy oraz określanie dynamiki wzrostu i zawartości defektów warstwy. Przedstawiono wyniki badań przebiegu procesu wytwarzania warstw diamentopodobnych...

Pełny tekst do pobrania w portalu

wyświetlono 401 razy