Abstrakt
Diamenty stosowane w optoelektronice i sensoryce syntetyzowane są w próżni przy użyciu plazmy niskotemperaturowej. Nanostruktury powstają przez wzrost struktur z molekuł, a nawet atomów. Wytwarzanie nanostruktur wymaga precyzyjnego monitoringu procesu syntezy. Optoelektroniczne metody pomiarowe zapewniają kontrolę wzrostu warstw oraz ocenę in situ parametrów materiałowych. W artykule przedstawiono optoelektroniczne metody badania przebiegu procesu syntezy warstw diamentowych i DLC: spektroskopię ramanowską oraz optyczną spektroskopię emisyjną.
Autorzy (4)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Opublikowano w:
-
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
nr 48,
strony 42 - 46,
ISSN: 0033-2089 - Język:
- polski
- Rok wydania:
- 2007
- Opis bibliograficzny:
- Wroczyński P., Gnyba M., Herman A., Bogdanowicz R.: Synteza warstw diamentowych do zastosowań optoelektronicznych// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -Vol. 48., nr. nr 9 (2007), s.42-46
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 84 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
- R. Bogdanowicz,
- M. Gnyba,
- P. Wroczyński
- + 1 autorów
2008