Wyszukiwarka
Abstrakt
The paper reports controlled deposition of optically transparent and electrically conductive ITO films prepared by a combination of rf (13.56 MHz) and High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) systems without any post deposition thermal treatment/annealing. It is shown that (i) reactive admixture of N2 gas to the process and (ii) pressure in the deposition chamber enable to optimize optical properties of ITO films. Furthermore, the changes of electrical resistivity were observed, too. The variation of these ITO properties are attributed to change of crystalline structure measured by XRD methods.
Cytowania
-
1 8
CrossRef
-
0
Web of Science
-
1 9
Scopus
Autorzy (9)
-
Vitezslav Stranak
- University of South Bohemia
-
Petr Sezemsky
- University of South Bohemia
-
Harm Wulff
- University of Greifswald
-
Angela Kruth
- Leibniz Institute for Plasma Science and Technology
-
Mateusz Smietana
- Warsaw University of Technology
-
Jiri Kratochvil
- University of South Bohemia
-
Martin Cada
- Institute of Physics, Academy of Science of the Czech Republic
-
Zdenek Hubicka
- Institute of Physics, Academy of Science of the Czech Republic
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuł w czasopiśmie wyróżnionym w JCR
- Opublikowano w:
-
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
nr 335,
strony 126 - 133,
ISSN: 0257-8972 - Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2018
- Opis bibliograficzny:
- Stranak V., Bogdanowicz R., Sezemsky P., Wulff H., Kruth A., Smietana M., Kratochvil J., Cada M., Hubicka Z.: Towards high quality ITO coatings: the impact of nitrogen admixture in HiPIMS discharges// SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY. -Vol. 335, (2018), s.126-133
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.1016/j.surfcoat.2017.12.030
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 176 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Tailoring properties of indium tin oxide thin films for their work in both electrochemical and optical label-free sensing systems
- P. Sezemsky,
- D. Burnat,
- J. Kratochvil
- + 11 autorów
2021
Electro-optical transducer based on indium-tin-oxide-coated optical fiber for analysis of ionized media
- P. Sezemsky,
- M. Koba,
- P. Curda
- + 3 autorów
2023
Influence of reactive oxygen species during deposition of iron oxide films by high power impulse magnetron sputtering.
- V. Stranak,
- Z. Hubicka,
- M. Cada
- + 4 autorów
2018
Enhancing electrochemical properties of an ITO-coated lossy-mode resonance optical fiber sensor by electrodeposition of PEDOT:PSS
- M. Sobaszek,
- D. Burnat,
- P. Sezemsky
- + 5 autorów
2019