Wyszukiwarka
Abstrakt
W artykule opisano podstawowe źródła zakłóceń występujących w pomiarach struktur elementów metodami ostrzowymi oraz podstawowe sposoby zmniejszania ich wpływu na wyniki pomiarów.
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Opublikowano w:
-
Elektronizacja: podzespoły i zastosowania elektroniki
strony 12 - 13,
ISSN: 0138-0826 - Język:
- polski
- Rok wydania:
- 2003
- Opis bibliograficzny:
- Szewczyk A., Spiralski L.: Zakłócenia w pomiarach ostrzowych struktur półprzewodnikowych// Elektronizacja: podzespoły i zastosowania elektroniki. -., nr. 2 (2003), s.12-13
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 103 razy