Wyszukiwarka
Characterization of Optical and Electrical Properties of Transparent Conductive Boron-Doped Diamond thin Films Grown on Fused Silica
Abstrakt
A conductive boron-doped diamond (BDD) grown on a fused silica/quartz has been investigated. Diamond thin films were deposited by the microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MW PECVD). The main parameters of the BDD synthesis, i.e. the methane admixture and the substrate temperature were investigated in detail. Preliminary studies of optical properties were performed to qualify an optimal CVD synthesis and film parameters for optical sensing applications. The SEM micro-images showed the homogenous, continuous and polycrystalline surface morphology; the mean grain size was within the range of 100-250 nm. The fabricated conductive boron-doped diamond thin films displayed the resistivity below 500 mOhm cm-1 and the transmittance over 50% in the VIS-NIR wavelength range. The studies of optical constants were performed using the spectroscopic ellipsometry for the wavelength range between 260 and 820 nm. A detailed error analysis of the ellipsometric system and optical modelling estimation has been provided. The refractive index values at the 550 nm wavelength were high and varied between 2.24 and 2.35 depending on the percentage content of methane and the temperature of deposition
Cytowania
-
2 4
CrossRef
-
0
Web of Science
-
1 9
Scopus
Cytuj jako
Pełna treść
- Wersja publikacji
- Accepted albo Published Version
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.2478/mms-2014-0059
- Licencja
-
otwiera się w nowej karcie
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuł w czasopiśmie wyróżnionym w JCR
- Opublikowano w:
-
Metrology and Measurement Systems
nr 21,
wydanie 4,
strony 685 - 698,
ISSN: 0860-8229 - Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2014
- Opis bibliograficzny:
- Bogdanowicz R.: Characterization of Optical and Electrical Properties of Transparent Conductive Boron-Doped Diamond thin Films Grown on Fused Silica// Metrology and Measurement Systems. -Vol. 21, iss. 4 (2014), s.685-698
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.2478/mms-2014-0059
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 167 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Low temperature growth of diamond films on optical fibers using Linear Antenna CVD system
- M. Ficek,
- D. Sien,
- J. Karczewski
- + 2 autorów
Optical and electrical properties of ultrathin transparent nanocrystalline boron-doped diamond electrodes
- M. Sobaszek,
- Ł. Skowroński,
- R. Bogdanowicz
- + 7 autorów