Diagnostics of cvd process by means of optical emission spectroscopy. - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Diagnostics of cvd process by means of optical emission spectroscopy.

Abstrakt

Zastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania z par gazowych wspomaganego plazmą mikrofalową (mPACVD). Zbudowano tor światłodowy, umożliwiający sprzężenie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne w zakresie światła widzialnego i bliskiej podczerwieni, co umożliwiło pomiar zależności natężenia linii należących serii Balmera od parametrów procesu technologicznego.

Cytuj jako

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Słowa kluczowe

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Aktywność konferencyjna
Typ:
publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
Język:
angielski
Rok wydania:
2004
Opis bibliograficzny:
Wroczyński P., Gnyba M., Bogdanowicz R.: Diagnostics of cvd process by means of optical emission spectroscopy.// / : , 2004,
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 50 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi