Diagnostyka procesu CVD metodą optycznej spektroskopii emisyjnej. Diagnostics of CVD process by means of optical emission spectroscopy. - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Diagnostyka procesu CVD metodą optycznej spektroskopii emisyjnej. Diagnostics of CVD process by means of optical emission spectroscopy.

Abstrakt

Zastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania z par gazowych wspomaganego plazmą mikrofalową (mPACVD). Zbudowano tor światłowodowy, umożliwiający sprzężenie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne w zakresie światła widzialnego i bliskiej podczerwieni, co umożliwiło pomiar zależności natężenia linii należących serii Balmera od parametrów procesu technologicznego.

Pełna treść

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Język:
polski
Rok wydania:
2004
Opis bibliograficzny:
Wroczyński P., Gnyba M., Bogdanowicz R.: Diagnostyka procesu CVD metodą optycznej spektroskopii emisyjnej. Diagnostics of CVD process by means of optical emission spectroscopy. // . -., (2004), s.0-0
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 13 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi