Filters
total: 1734
-
Catalog
- Publications 1158 available results
- Journals 11 available results
- Conferences 1 available results
- People 66 available results
- Inventions 5 available results
- Projects 18 available results
- Laboratories 1 available results
- Research Teams 12 available results
- Research Equipment 1 available results
- e-Learning Courses 439 available results
- Events 22 available results
displaying 1000 best results Help
Search results for: TECHNOLOGIE INFORMATYCZNE W MEDYCYNIE
-
Autonomiczne hybrydowe systemy fotowoltaiczne wspomagane ogniwami paliwowymi
PublicationW większości krajów świata promieniowanie słoneczne charakteryzuje się dużą zmiennością zarówno w cyklu dobowym, miesięcznym jak i rocznym.Fakt ten zmusza projektantów autonomicznych systemów fotowoltaicznych do zwiększania ilości modułów, zwiększania mocy regulatorów oraz pojemności akumulatorów, a co za tym idzie do wzrostu ceny instalacji PV.Aby rozwiązać te problemy stosuje się fotowoltaiczne systemy hybrydowe, w których generatory...
-
Metodyka projektowania sprzęgacza łatowego z perforowaną metalizacją masy w oparciu o algorytm genetyczny
PublicationW referacie zaprezentowano metodologię projektowania zminiaturyzowanego sprzęgacza łatowego z perforacją metalizacji masy w postaci komórek DGS (ang. Defected Ground Structures). Proces projektowania oparto na zmodyfikowanym algorytmie genetycznym wykorzystującym środowisko Sonnet do pełnofalowych symulacji elektromagnetycznych przeprowadzanych w celu znalezienia quasi-optymalnej topografii obwodu. Zastosowanie omówionej procedury...
-
Filtrujące struktury ebg w układzie zasilania planarnej anteny szczelinowej
PublicationW pracy zaprezentowano koncepcję miniaturyzacji systemu nadawczo/odbiorczego polegającą na wprowadzeniu filtrujących struktur EBG (ang. Electromagnetic BandGap) w torze zasilania anteny, dzięki czemu możliwa jest eliminacja dodatkowego komponentu filtrującego. Rozważono szerokopasmową antenę szczelinową o konwencjonalnej topografii, którą następnie zmodyfikowano poprzez umieszczenie w układzie zasilania prostej, pasmowo-zaporowej...
-
Badanie stacjonarności przebiegów szumowych w transoptorach cny 17
PublicationPrzedstawiono wyniki badań stacjonarności przebiegów szumów własnych diod transoptorów i transoptorów. Ocena stacjonarności szumów własnych z zakresu małych częstotliwości badanych przyrządów dotyczyła stacjonarności parametrów statystycznych szumów własnych: wartości średniej, wariancji, skośności i kurtozy. Stwierdzono, że parametry statystyczne spełniają test stacjonarności, zarówno dla diod transoptorów, jaki i dla transoptorów,...
-
Przetwornica dc-dc z miękką komutacją tranzystorów
PublicationW artykule zaprezentowano wyniki badań eksperymentalnych przetwornicy DC-DC o mocy 20[kW], w której ograniczenie komutacyjnych strat mocy zapewniono poprzez wykorzystanie dławika z odczepem oraz dodatkowego obwodu rezonansowego. Przedstawiono wyniki badań eksperymentalnych wpływu wartości parametrów poszczególnych elementów układu przetwornicy na zachowanie warunków miękkiej komutacji.
-
Nonlinear and fluctuation phenomena as reliability predictors for foil capacitors
PublicationW trakcie procesu produkcyjnego kondensatorów przeciwzakłóceniowych wymagane jest przeprowadzenie testów jakości i trwałości. Do tego celu bardzo przydatna byłaby procedura szybkich testów nieniszczących. Rozwiązaniem problemu może być implementacja w systemie realizującym testy produkcyjne dodatkowych zadań związanych z bezpośrednimi pomiarami nieliniowości i/lub fluktuacji. Wybór wskaźnika trzeciej harmonicznej (THI), parametru...
-
Fluctuation phenomena in semiconductor gas sensors
PublicationCzujniki gazu mogą być wytwarzane z cienkiej warstwy półprzewodnika, która po podgrzaniu do odpowiedniej temperatury staje się czuła na gaz. Zjawisko to jest dobrze znane i szeroko opisane w literaturze. Jako wskaźnik detekcji gazu wykorzystuje się zmianę rezystancji stałoprądowej czujnika. Zwiększenie czułości i, co najważniejsze z praktycznego punktu widzenia, selektywności dyskryminacji można uzyskać jeśli warstwa półprzewodnika...
-
1/f noise as a diagnostic tool for non-destructive testing of silicon solar cells
PublicationPrzeprowadzono badania eksperymentalne charakterystyk statycznych i szumowych krzemowych ogniw słonecznych. Wyniki wykazują możliwość wykorzystania szumu 1/f jako narzędzia diagnostycznego w testach nieniszczacych tych przyrzadów.
-
Analiza częstotliwościowa sprzężeń elektromagnetycznych w układach ścieżek mikroelektronicznego układu hybrydowego
PublicationZaprezentowano problematykę sprzężeń elektromagnetycznych pomiędzy układem ścieżek mikroelektronicznego układu hybrydowego. Przedstawiono aplikację metody operatorowej (w połączeniu z przekształceniem przez podobieństwo i przekształceniem Fouriera) do analizy procesu propagacji zakłóceń przewodzonych w dziedzinie częstotliwości. Przy wykorzystaniu opcji programowania strukturalnego w programie Mathcad, opracowano, uruchomiono i...
-
Zastosowanie optycznej tomografii niskokoherentnej do 2-wymiarowego obrazowania cienkich warstw polimerów
PublicationW artykule omówiono zasadę działania i przedstawiono podstawowe właściwości systemu OCT (Optical Coherence Tomography). Na przykładzie folii polietylenowej przedyskutowano możliwości wykorzystania systemu do badanie wewnętrznej struktury warstwowej obiektów niebiologicznych. Przedstawiono i omówiono wyniki przeprowadzonych badań nad warstwowymi materiałami przeźroczystymi.
-
Analiza wyników pomiarów szumów m. cz. diod LED transoptorów CNY 17
PublicationZaprezentowano wyniki pomiarów szumów m. cz. diod transoptorów oraz wyniki badań stacjonarności tych przebiegów. Test stacjonarności został zastosowany do parametrów statystycznych przebiegów szumowych takich jak wartość średnia, wariancja, skośność oraz kurtoza. Stwierdzono, że niemal wszystkie przebiegi szumowe diod transoptorów były stacjonarne.
-
Nanocrystalline doped zirconia and ceria films for fuel cell application
PublicationW artykule przestawiono porównanie właścowości warstw nanokrystalicznych przygotowanych w technologii 'net-shape'. Materiały te mają zastosowanie w tlenkowychogniwach paliwowych.
-
Dwuzakresowy sprzęgacz gałęziowy do systemów WLAN2.45 i WLAN5.25
PublicationPrzedstawiono klasyczny sprzęgacz gałęziowy zaprojektowany w taki sposób, aby możliwa była jego praca w dwóch podzakresach częstotliwości, tzn. w pasmach WLAN2.45 i WLAN5.25. Dwuzakresową pracę uzyskano poprzez adekwatną modyfikację obwodu, polegającą na dołączeniu rozwartych na końcu odcinków linii, równoważnych określonym reaktancjom. Wykonany model układu oraz przeprowadzone badania eksperymentalne potwierdziły możliwość wykorzystania...
-
Sterowane elektrycznie pojemności stosowane w mikroelektronice
PublicationPraca prezentuje aktualny stan wiedzy o stosowanych w mikroelektronice elektrycznie sterowanych zmiennych pojemnościach. Omawiana jest budowa i podstawowe charakterystyki trzech rodzajów takich pojemności: diodowych (złączowych), MEMS i BST na podstawie przeglądu publikacji naukowych z lat 1964-2004.
-
Synteza warstw diamentowych do zastosowań optoelektronicznych
PublicationDiamenty stosowane w optoelektronice i sensoryce syntetyzowane są w próżni przy użyciu plazmy niskotemperaturowej. Nanostruktury powstają przez wzrost struktur z molekuł, a nawet atomów. Wytwarzanie nanostruktur wymaga precyzyjnego monitoringu procesu syntezy. Optoelektroniczne metody pomiarowe zapewniają kontrolę wzrostu warstw oraz ocenę in situ parametrów materiałowych. W artykule przedstawiono optoelektroniczne metody badania...
-
System lokalizacji dla osób niewidomych
PublicationPrzedstawiono prototyp systemu lokalizacji łączący nawigację satelitarną z nawigacją zliczeniową, który informuje niewidomego użytkownika o aktualnym położeniu oraz opisuje najbliższe otoczenie na podstawie interaktywnego planu miasta. W systemie zastosowano opracowane algorytmy wyznaczania pozycji wykorzystujące filtrację Kalmana lub filtrację cząsteczkową, co pozwoliło znacznie zmniejszyć błędy oszacowań położenia.
-
Diagnostyka uszkodzeń analogowych we wbudowanych systemach elektronicznych z wykorzystaniem interpretera logiki rozmytej
PublicationPrzedstawiono nowe podejście samo-testowania toru analogowego w systemie wbudowanym sterowanym mikrokontrolerem. Podejście to bazuje na metodzie detekcji i lokalizacji pojedynczych uszkodzeń parametrycznych i katastroficznych elementów pasywnych w układach analogowych. W etapie pomiarowym badany tor analogowy pobudzany jest okresowym przebiegiem prostokątnym generowanym przez mikrokontroler, a jego odpowiedź jest próbkowana przez...
-
Elektrokatalityczne czujniki gazów toksycznych
PublicationCzujniki elektrokatalityczne są czujnikami elektrochemicznymi zbudowanymi na bazie elektrolitów stałych. Czujniki te pobudzane są okresowym sygnałem trójkątnym przy jednoczesnym pomiarze odpowiedzi prądowej czujnika. Odpowiedź czujników elektrokatalitycznych niesie znacznie więcej informacji niż można uzyskać z klasycznych elektrochemicznych czujników amperometrycznych lub potencjometrycznych. W artykule przedstawiono wyniki badań...
-
Cyfrowy filtr Hilberta i jego zastosowania
PublicationZaproponowano efektywne rozwiązanie filtru Hilberta o skończonej odpowiedzi impulsowej i o zmiennym opóźnieniu ułamkowym. Oryginalność polega tu na tym, że filtr równocześnie realizuje filtrację zespoloną Hilberta i opóźnianie ułamkowe wejściowego sygnału o wartościach rzeczywistych. Można go więc zastosować np. w systemie GPS lub w każdym innym systemie, gdzie zachodzi jednocześnie potrzeba filtracji Hilberta i estymacji opóźnienia...
-
Elektrochemiczny czujnik na bazie cieczy jonowej do oznaczania par benzaldehydu
PublicationW pracy przedstawiono prototypowy, laboratoryjny, elektrochemiczny czujnik do oznaczania par benzaldehydu w argonie. Cieczą jonową testowaną jako elektrolit i środowisko reakcji redox była: bis(trifluorometylosulfonylo)imidek 1-butylo,3-metyloimidazolinowy ([BMIM][Tf2N]). W pomiarach użyto komercyjnych elektrod firm: DropSens Co. i BVT Technologies. Walidacji poddano dwa parametry metrologiczne czujnika: granicę wykrywalności i...
-
Photovoltaic bulk heterojunctions with interpenetrating network based on semiconducting polymers
PublicationPhotovoltaic cells are supposed to be the most common generators of useful electricity in the nearest future as they utilize inexhaustible carriers of renewable energy called photons. Despite the fact that 95% of worldwide applied photovoltaic devices are based on inorganic semiconductors the area of organic photovoltaics grows successively due to possibility of considerable reduction of manufacturing costs. Since the Heeger's...
-
Oxide layers fabricated by spray pyrolysis on metallic surfaces = Warstwy tlenkowe wytworzone metoda pirolizy aerozolowej na podłożach metalicznych
PublicationW pracy przebadane zostały możliwości zastosowania metody pirolizy aerozolowej do wytwarzania warstw z tlenku cyrkonu stabilizowanego itrem na podłożu ze stali nierdzewnej 316L.
-
An Automated Design of Substrate Integrated Waveguide Filters Based on Implicit Space Mapping Optimization
Publication -
Naświetlanie schematów gęsto upakowanych połączeń elektrycznych za pomocą prototypowego urządzenia laserowego
Publication -
Electrocatalytic sensor based on Nasicon with auxiliary layer = Czujnik elektrokataliczny na bazie Nasiconu z warstwą dodatkową
PublicationW pracy zostały przedstawione wyniki pomiarów czujnika na bazie Nasiconu pracującego w trybie elektrokatalitycznym. Czujniki takie pobudzane są zmieniającym się napięciem przy jednoczesnym pomiarze odpowiedzi prądowej. Przygotowano czujniki ceramiczne o dwóch różnych typów. Pierwszy z nich to czujnik posiadający dwie identyczne elektrody złote, pomiędzy którymi znajduje się elektrolit stały. Drugi czujnik posiada złote elektrody...
-
Impedance spectroscopy as a diagnostic tool of degradation of Solid Oxide Fuel Cells = Spektroskopia impedancyjna jako narzędzie diagnostyczne degradacji tlenkowych ogniw paliwowych
PublicationTlenkowe ogniwa paliwowe SOFC sa obecnie bliskie komercjalizacji. Wiedza na temat mechanizmów degradacji ogniw paliwowych jest niezbędna do dalszej poprawy ich działania. Spektroskopia impedancyjna jest skutecznym narzędziem diagnostycznym. Pozwala ona na wskazanie który element ogniwa SOFC ulega pogorszeniu oraz pozwala poznać dokładniej naturę procesu degradacji. W tej pracy degradacja ogniwa SOFC została zbadana przy użyciu...
-
Organic photovoltaics - chosen aspects
PublicationThere are many types of organic and organic/inorganic (hybrid) photovoltaic devices that possess many beneficial properties over inorganic solar cells. That makes the former suitable for a broad range of applications and hence so much attention is paid to their development. In spite of intensive research carried on this field of science and technology there are still many crucial problems that need to be solved. Extensive knowledge...
-
Zespolony filtr BiCMOS pośredniej częstotliwości odbiornika Bluetooth
Publication -
Zastosowanie krzyżowania uśredniającego do ewolucyjnej metody wyznaczania ścieżki przejścia na morzu
PublicationArtykuł przedstawia modyfikację operatora krzyżowanie w algorytmie ewolucyjnym dedykowanym do rozwiązywania problemu wyznaczania ścieżki przejścia na morzu. Zastosowany operator krzyżowania uśredniającego zmniejsza wrażliwość algorytmu na postać populacji początkowej oraz pozwala na rozszerzenie zbioru rozwiązań możliwych do uzyskania w porównaniu z wariantem krzyżowania wymieniającego. W artykule wykazano, że zastosowane rozwiązanie...
-
Wireless data transmission for fiber optical sensor system
PublicationW artykule opisano możliwość wykorzystania bezprzewodowego systemu transmisji danych do transmisji sygnałów z czujników światłowodowych.
-
Algorytm PWM dla 9-fazowego silnika indukcjnego
Publication -
Testowanie i diagnostyka układów w pełni różnicowych
PublicationZaproponowano tester wbudowany realizujący nowe podejście do testowania układów w pełni różnicowych, polegające na pobudzaniu układu sygnałem wspólnym i pomiarze wyjściowego napięcia różnicowego. Tester wykrywa uszkodzenia parametryczne i strukturalne, które powodują zaburzenie symetrii układu i w rezultacie wzrost wartości napięcia różnicowego. Przeprowadzono analizę właściwości diagnostycznych funkcji układowej, na której bazuje...
-
Problemy wnioskowania z ontologii Semantic Web
PublicationIdea Semantic Web (Semantycznego Internetu) opiera się m.in. na ogłaszaniu w Internecie ontologii stanowiących opis pewnego fragmentu rzeczywistości. Aby miało to sens, ontologie te muszą być sformułowane w jednym, powszechnie akceptowanym języku. Takim językiem jest OWL-DL, promowany i standaryzowany przez konsorcjum W3C. Jest to język opary na formalizmie logicznym zwanym logiką opisową. W tym artykule, po krótkim i nieformalnym...
-
Struktury mikropaskowe z uszkodzoną warstwą metalizacji masy
PublicationPrzedstawiono struktury linii mikropaskowej ze świadomie wprowadzonymi uszkodzeniami metalizacji masy (DGS - Defected Ground Structure). Zaobserwowano wystąpienie filtracji dolnoprzepustowej oraz pasmowej górnozaporowej. Zaprojektowano, wykonano i przebadano dwelementową strukturę filtru. Zauważono efekt spowolnienia fali prowadzący do redukcji wymiarów układu oraz stwierdzono wystąpienie znaczącego tłumienia przy wyższych częstotliwościach.
-
Novel applications of noise measurements in technology and sensing.
PublicationPomiary szumów są źródłem informacji oraz rodzajem badań nieniszczących dotyczących jakości elementów elektronicznych oraz innych materiałów. Mogą one poprawić selektywność i czułość wykrywania gazów oraz pozwalają monitorować zjawiska korozji. W tym celu wyznacza się właściwości statystyczne fluktuacji prądu lub napięcia w zakresie małych częstotliwości. W artykule przedstawiono i przedyskutowano wybrane, ze względu na ich znaczenie...
-
Niskokoherentny, interferometryczny system do badaniawłaściwości materiałów ceramicznych
PublicationPrzedstawiono światłowodowy system dwuwymiarowej wizualizacjiniejednorodnych struktur warstw ceramicznych. Omówiono projekti fizyczną realizację układu wykorzystującego optyczną, niskokoherentną reflektometrię optyczną, która umożliwia nieinwazyjne i bezkontaktowe obrazowanie wewnętrznych struktur różnych materiałówsilnie rozpraszających promieniowanie. Przedstawiono przykładowewyniki pomiarów wewnętrznych warstw ceramiki LSFO....
-
Model egoistycznych ataków na mechanizm odłożenia transmisji w warstwie MAC bezprzewodowych sieci lokalnych ad hoc
PublicationZaprezentowano mechanizm i efekty ataku na mechanizm odczekania CSMA/CA w lokalnej sieci IEEE 802.11. Stosując rachunek miar motywacyjnych pokazano, w jako sposób zachowania niekooperacyjne stacji sieci mogą wpływać na osiąganą globalną przepustowość i rozdział pasma sieci.
-
Kompresja wartości chwilowej sygnału - nowe podejście w analogowym przetwarzaniu sygnałów
PublicationObecnie, w elektronice występuje silny trend w kierunku obniżenia napięć zasilania urządzeń. Jest to wymuszone tym, iż wiele z tych urządzeń jest przenośnych i zasilanych bateryjnie, na przykład telefony komórkowe. Aby efektywnie wydłużyć czas pracy baterii, pobór mocy urządzenia musi zostać obniżony. Jakkolwiek, niskie napięcie zasilania powoduje znaczne utrudnienia w przetwarzaniu sygnałów analogowych. Amplitudy przetwarzanych...
-
Ocena przeżywalności sieci bezskalowych w sytuacji celowych działań niszczących
PublicationW artykule poddano ocenie zachowanie sieci teleinformatycznych w warunkach celowych działań niszczących (ataków). Przebadano zdolność sieci o topologii bezskalowej do zapewnienia przeżywalności usług w przypadku eliminacji jej istotnych węzłów, zwanych centrami. Ukazano istotne różnice dotyczące poziomu jakości odtwarzania usług dla awarii będącej następstwem ataku, w zestawieniu z przypadkiem awarii losowej. Zaproponowano również...
-
Wybrane realizacje układów detekcji czujników optycznych wykorzystujących interferometrię polaryzacyjną
PublicationW artykule przedstawiono wymagania stawiane układom detekcji czujników optycznych wykorzystujących interferometrię polaryzacyjną. Zaprezentowano stosowane rozwiązania tych układów i omówiono możliwości ich modyfikacji poprzez zastosowanie elementów optycznych wykonanych zciekłych kryształów i polimerów ciekłokrystalicznych. Przedstawiono wybrane realizacje układów detekcji i omówiono wpływ szumów części elektronicznej układów na...
-
Dipolowe anteny planarne do zastosowań w standardzie Ultra-Wide band
PublicationW pracy dokonano przeglądu dipolowych anten planarnych projektowanych dla standardu UWB. Przedstawiono przykładowe promienniki oraz symetryzatory szerokopasmowe, które składają sie na antenę dipolową. porównano dopasowania anten dla wybranych kształtów promienników.
-
Optyczna tomografia niskokoherentna w badaniach obiektów technicznych
PublicationW pracy przedstawiono polaryzacyjny system OCT pracujący w dziedzinie czasu z detekcją zrównoważoną do badań obiektów technicznych. Obiektem badań z wykorzystaniem tego systemu były warstwy wykonane z ceramiki PLZT 9/65/35. Mierzone były grubości tych warstw i ich jednorodność.
-
Realizacja scalonego filtru kanałowego CMOS do wielosystemowego odbiornika telefonii bezprzewodowej
PublicationW pracy przedstawiono projekt i realizację fizyczną i wyniki pomiarowe scalonego filtru kanałowego wielosystemowego odbiornika telefonii bezprzewodowej. Przedstawiony filtr aktywny wykonano w technice RC w technologii 0,35 um CMOS
-
Nowoczesne czujniki do pomiaru wartości potencjału redox
PublicationW artykule przedstawiono koncepcję nowej konstrukcji zespolonego czujnika redox. Zaproponowane rozwiązanie sprawdza się do zastosowania dodatkowych elektrod polaryzowanych potencjałem elektrycznym, co pozwala na kalibracje czujnika, a także zwiększenie dokładności wykonywanych pomiarów redox poprzez zatężenia stężenia jonów przy powierzchni elektrody wskaźnikowej.
-
Organiczne ogniwa fotowoltaiczne
PublicationCelem tego artykułu jest ogólne scharakteryzowanie różnych rodzajów OOF, ich struktury i parametrów.
-
Electrical properties of poros nanocrystalline undoped ceria oxygen sensor
PublicationW pracy zaprezentowano wykonanie czujnika z niedomieszkowanego tlenku ceru o nanometrowych ziarnach krystalicznych. Zastosowana metoda nanoszenia warstw zalicza się do metod niskotemperaturowych. Wytworzone warstwy przebadano za pomocą dyfrakcji rentgenowskiej, mikroskopii elektronowej oraz spektroskopii impedancyjnej. Wykonane czujniki charakteryzują się szybkim czasem odpowiedzi i stabilnym zachowaniem przy zmianach ciśnienia...
-
Ocena stanu naprężeń w złączu spawanym ze stali P91 z wykorzystaniem efektu Barkhausena
PublicationW artykule przedstawiono rezultaty badań stanu naprężeń pospawalniczych w obwodowo spawanych rurach grubościennych ze stali P91 ( X10CrMoVNb9-1) o średnicy D=170mm. Zastosowanana metoda do pomiarów sładowych stanu naprężenia bazowała na wykorzystaniu efektu Barkhausena. Poziom naprężeń wyznacza się znając pomierzone w danym punktcie natężenie efektu Barkhausena, przy jednoczesnym wykorzystaniu funkcji kalibracji, wiążącej natężenie...
-
Analog multiplier for a low-power integrated image sensor
PublicationArtykuł przedstawia nowe podejście do projektowania tanich niskomocowych zintegrowanych sensorów optycznych. W odróżnieniu od wcześniej stosowanych rozwiązań opartych na masowym przetwarzaniu równoległym, zaproponowany mnożnik macierzowy charakteryzuje się korzystniejszymi cechami. Proponowane rozwiązanie, chociaż mniej elastyczne w sensie liczby możliwych do zaimplementowania algorytmów wstępnej obróbki obrazu, cechuje się znaczącą...
-
Evolutionary sets of cooperating ship trajectories: open waters and restricted waters = Ewolucyjne zbiory współpracujących trajektorii statków: wody otwarte i wody ograniczone
PublicationW artykule przedstawiono nową metodę rozwiązywania sytuacji spotkań wielu statków na wodach otwartych i wodach ograniczonych. Metoda łączy niektóre z elementów podejścia opartego na teorii gier z programowaniem ewolucyjnym i szuka optymalnego zbioru bezpiecznych trajektorii wszystkich statków zaangażowanych w potencjalną sytuację kolizyjną. Pozwala ona nawigatorowi przewidzieć najbardziej prawdopodobne zachowanie statków obcych...
-
Optoelektroniczny system przestrzennego monitoringu wzbudzenia plazmy w procesach syntezy optycznych warstw diamentopodobnych
PublicationPrzedmiotem pracy jest optoelektroniczny system do badania wzbudzenia plazmy mikrofalowej w procesie syntezy warstw DLC (ang. Diamond Like-Carbon). W komunikacie zaprezentowano budowę systemu do przestrzennego monitoringu stanu wzbudzenia plazmy podczas procesu CVD. System SR-OES (ang. Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy) umożliwia określanie rozkładu wzbudzenia cząstek w przestrzeni komory i na tej podstawie wybrania...