Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium

Abstrakt

Przedstawiono zagadnienia monitorowania in-situ prózniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, a w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnych (zawartości faz węglowych sp2 i sp3, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii in-situ podczas procesu syntezy pozwala monotorować poprawność przebiegu procesu i opracować wytyczne do jego optymalizacji. W artykule przedstawiono konfiguracje układów optycznych, problemy doboru długości fali lasera oraz rezultaty prac eksperymentalnych.

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
Opublikowano w:
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania strony 113 - 116,
ISSN: 0033-2089
Język:
polski
Rok wydania:
2010
Opis bibliograficzny:
Gnyba M., Kozanecki M., Wroczyński P., Bogdanowicz R.: Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -., nr. Nr 9 (2010), s.113-116
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 15 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi