Wyszukiwarka
Abstrakt
Przedstawiono zagadnienia monitorowania in-situ prózniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, a w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnych (zawartości faz węglowych sp2 i sp3, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii in-situ podczas procesu syntezy pozwala monotorować poprawność przebiegu procesu i opracować wytyczne do jego optymalizacji. W artykule przedstawiono konfiguracje układów optycznych, problemy doboru długości fali lasera oraz rezultaty prac eksperymentalnych.
Autorzy (4)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Opublikowano w:
-
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
strony 113 - 116,
ISSN: 0033-2089 - Język:
- polski
- Rok wydania:
- 2010
- Opis bibliograficzny:
- Gnyba M., Kozanecki M., Wroczyński P., Bogdanowicz R.: Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium// Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania. -., nr. Nr 9 (2010), s.113-116
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 62 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
- R. Bogdanowicz,
- M. Gnyba,
- P. Wroczyński
- + 1 autorów
2008
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
- M. Gnyba,
- M. Kozanecki,
- P. Wroczyński
- + 1 autorów
2010