Spectroscopic Study of Plasma Polymerized a-C:H Films Deposited by a Dielectric Barrier Discharge - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Spectroscopic Study of Plasma Polymerized a-C:H Films Deposited by a Dielectric Barrier Discharge

Abstrakt

Plasma polymerized a-C:H thin films have been deposited on Si (100) and aluminum coated glass substrates by a dielectric barrier discharge (DBD) operated at medium pressure using C2Hm/Ar (m = 2, 4, 6) gas mixtures. The deposited films were characterized by Fourier transform infrared reflection absorption spectroscopy (FT-IRRAS), Raman spectroscopy, and ellipsometry. FT-IRRAS revealed the presence of sp3 and sp2 C–H stretching and C–H bending vibrations of bonds in the films. The presence of D and G bands was confirmed by Raman spectroscopy. Thin films obtained from C2H4/Ar and C2H6/Ar gas mixtures have ID/IG ratios of 0.45 and 0.3, respectively. The refractive indices were 2.8 and 3.1 for C2H4/Ar and C2H6/Ar films, respectively, at a photon energy of 2 eV.

Cytowania

  • 1 0

    CrossRef

  • 0

    Web of Science

  • 1 1

    Scopus

Autorzy (7)

  • Zdjęcie użytkownika  Thejaswini Chandrashekaraiah

    Thejaswini Chandrashekaraiah

    • Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald Institut für Physik
  • Zdjęcie użytkownika  Eckart Rühl

    Eckart Rühl

    • Freie Universität Berlin Institut für Chemie und Biochemie-Physikalische und Theoretische Chemie,
  • Zdjęcie użytkownika  Vladimir Danilov

    Vladimir Danilov

    • Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald Institut für Physik
  • Zdjęcie użytkownika  Jürgen Meichsner

    Jürgen Meichsner

    • Freie Universität Berlin Institut für Chemie und Biochemie-Physikalische und Theoretische Chemie,
  • Zdjęcie użytkownika  Steffen Thierbach

    Steffen Thierbach

    • Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald Institut für Physik
  • Zdjęcie użytkownika  Rainer Hippler

    Rainer Hippler

    • Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald Institut für Physik

Słowa kluczowe

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Publikacja w czasopiśmie
Typ:
artykuł w czasopiśmie wyróżnionym w JCR
Opublikowano w:
Materials nr 9, wydanie 7, strony 1 - 12,
ISSN: 1996-1944
Język:
angielski
Rok wydania:
2016
Opis bibliograficzny:
Chandrashekaraiah T., Bogdanowicz R., Rühl E., Danilov V., Meichsner J., Thierbach S., Hippler R.: Spectroscopic Study of Plasma Polymerized a-C:H Films Deposited by a Dielectric Barrier Discharge// Materials. -Vol. 9, iss. 7 (2016), s.1-12
DOI:
Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.3390/ma9070594
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 373 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi