Wyszukiwarka
Abstrakt
Przedstawiono system WOPT umożliwiający symulację złożonych, dielektrycznych powłok cienkowarstwowych. Oprogramowanie służy zarówno do projektowania specjalistycznych wielowarstwowych powłok optycznych jak i do kontroli parametrów gotowych produktów cienkowarstwowych. Za pomocą programu można wykonać analizę grubości oraz optycznych parametrów materiałowych powłok dielektrycznych na postawie wykonanych pomiarów spektralnych. Wykonano badania efektywności algorytmu dla rzeczywistych pomiarów spektrometrycznych. Potwierdzono możliwość wyznaczania grubości struktur umieszczonych w próżni, w cieczach oraz osadzonych na podłożach o różnej grubości. Wykonano badania wpływu parametrów algorytmu na szybkość i dokładność obliczeń widm optycznych, grubości oraz optycznych parametrów warstw.
Autorzy (4)
Cytuj jako
Pełna treść
pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuły w czasopismach recenzowanych i innych wydawnictwach ciągłych
- Opublikowano w:
-
Zeszyty Naukowe Wydziału ETI Politechniki Gdańskiej. Technologie Informacyjne
nr T. 14,
strony 573 - 580,
ISSN: 1732-1166 - Język:
- polski
- Rok wydania:
- 2007
- Opis bibliograficzny:
- Bogdanowicz R., Gnyba M., Wroczyński P., Torliński L.: WOPT-uniwersalny system do analizy i symulacji widm optycznych cienkich struktur dielektrycznych// Zeszyty Naukowe Wydziału ETI Politechniki Gdańskiej. Technologie Informacyjne. -Vol. T. 14., (2007), s.573-580
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 64 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Mobility measurements in oxide semiconductors
- E. Prociów,
- M. S. Łapiński,
- J. Domaradzki
- + 3 autorów