Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS

Mateusz Tański; Robert Barbucha; Michał Janke; Marek Kocik; Katarzyna Garasz; Jerzy Mizeraczyk

Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS

Abstrakt

W niniejszym artykule omówiono zastosowanie mikroobróbki laserowej impulsami nanosekundowymi do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS (microelectromechanical systems). Omówiono ogólnie nanosekundową mikroobróbkę laserową materiałów metalowych oraz przedstawiono przykłady elementów urządzeń MEMS wykonanych tą techniką. Przedstawiono także problem degradacji obrabianego materiału podczas nanosekundowej mikroobróbki laserowej. Rozwiązaniem tego problemu może być zastosowanie do mikroobróbki laserowych impulsów femtosekundowych.

Autorzy (6)

Mateusz Tański
- Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Robert Barbucha
- Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Michał Janke
- Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Marek Kocik
- Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Katarzyna Garasz
- Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
Jerzy Mizeraczyk
- Instytut Maszyn Przepływowych PAN; Akademia Morska w Gdyni Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej; Wydział Elektryczny

Cytuj jako

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Słowa kluczowe

Informacje szczegółowe

Kategoria:: Aktywność konferencyjna
Typ:: publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
Tytuł wydania:: Materiały konferencji, IX Krajowa Konferencja Elektroniki, Darłówko Wschodnie strony 817 - 822
Język:: polski
Rok wydania:: 2010
Opis bibliograficzny:: Tański M., Barbucha R., Janke M., Kocik M., Garasz K., Mizeraczyk J.: Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS// Materiały konferencji, IX Krajowa Konferencja Elektroniki, Darłówko Wschodnie/ : , 2010, s.817-822
Weryfikacja:: Politechnika Gdańska