Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS - Publikacja - MOST Wiedzy

Wyszukiwarka

Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS

Abstrakt

W niniejszym artykule omówiono zastosowanie mikroobróbki laserowej impulsami nanosekundowymi do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS (microelectromechanical systems). Omówiono ogólnie nanosekundową mikroobróbkę laserową materiałów metalowych oraz przedstawiono przykłady elementów urządzeń MEMS wykonanych tą techniką. Przedstawiono także problem degradacji obrabianego materiału podczas nanosekundowej mikroobróbki laserowej. Rozwiązaniem tego problemu może być zastosowanie do mikroobróbki laserowych impulsów femtosekundowych.

Autorzy (6)

  • Zdjęcie użytkownika  Mateusz Tański

    Mateusz Tański

    • Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
  • Zdjęcie użytkownika  Robert Barbucha

    Robert Barbucha

    • Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
  • Zdjęcie użytkownika  Michał Janke

    Michał Janke

    • Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
  • Zdjęcie użytkownika  Marek Kocik

    Marek Kocik

    • Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
  • Zdjęcie użytkownika  Katarzyna Garasz

    Katarzyna Garasz

    • Instyrtut Maszyn Przepływowych PAN Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej
  • Zdjęcie użytkownika  Jerzy Mizeraczyk

    Jerzy Mizeraczyk

    • Instytut Maszyn Przepływowych PAN; Akademia Morska w Gdyni Ośrodek Techniki Plazmowej i Laserowej; Wydział Elektryczny

Pełna treść

pełna treść publikacji nie jest dostępna w portalu

Informacje szczegółowe

Kategoria:
Aktywność konferencyjna
Typ:
publikacja w wydawnictwie zbiorowym recenzowanym (także w materiałach konferencyjnych)
Tytuł wydania:
Materiały konferencji, IX Krajowa Konferencja Elektroniki, Darłówko Wschodnie strony 817 - 822
Język:
polski
Rok wydania:
2010
Opis bibliograficzny:
Tański M., Barbucha R., Janke M., Kocik M., Garasz K., Mizeraczyk J.: Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS// Materiały konferencji, IX Krajowa Konferencja Elektroniki, Darłówko Wschodnie/ : , 2010, s.817-822
Weryfikacja:
Politechnika Gdańska

wyświetlono 18 razy

Publikacje, które mogą cię zainteresować

Meta Tagi