Gas Composition Influence on the Properties of Boron-Doped Diamond Films Deposited on the Fused Silica
Abstrakt
The main subject of this study are molecular structures and optical properties of boron-doped diamond films with [B]/[C] ppm ratio between 1000 and 10 000, fabricated in two molar ratios of CH 4 -H 2 mixture (1 % and 4 %). Boron-doped diamond (BDD) film on the fused silica was presented as a conductive coating for optical and electronic purposes. The scanning electron microscopy images showed homogenous and polycrystalline surface morphology. The Raman spectroscopy confirmed the growth of sp ³ diamond phase and sp ² carbon phase, both regular and amorphous, on the grain boundaries, as well as the efficiency of boron doping. The sp ³ /sp ² ratio was calculated using the Raman spectra deconvolution method. A high refractive index (in a range of 2.0 to 2.4 at λ = 550 nm) was achieved for BDD films deposited at 700 °C. The values of extinction coefficient were below 1.4 at λ = 550 nm, indicating low absorption of the film
Cytowania
-
9
CrossRef
-
0
Web of Science
-
8
Scopus
Autorzy (8)
Cytuj jako
Pełna treść
- Wersja publikacji
- Accepted albo Published Version
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.2478/msp-2018-0046
- Licencja
- otwiera się w nowej karcie
Słowa kluczowe
Informacje szczegółowe
- Kategoria:
- Publikacja w czasopiśmie
- Typ:
- artykuł w czasopiśmie wyróżnionym w JCR
- Opublikowano w:
-
MATERIALS SCIENCE-POLAND
nr 36,
wydanie 2,
strony 288 - 296,
ISSN: 0137-1339 - Język:
- angielski
- Rok wydania:
- 2018
- Opis bibliograficzny:
- Dec B., Ficek M., Rycewicz M., Macewicz Ł., Gnyba M., Sawczak M., Sobaszek M., Bogdanowicz R.: Gas Composition Influence on the Properties of Boron-Doped Diamond Films Deposited on the Fused Silica// MATERIALS SCIENCE-POLAND. -Vol. 36, iss. 2 (2018), s.288-296
- DOI:
- Cyfrowy identyfikator dokumentu elektronicznego (otwiera się w nowej karcie) 10.2478/msp-2018-0046
- Weryfikacja:
- Politechnika Gdańska
wyświetlono 178 razy
Publikacje, które mogą cię zainteresować
Linear antenna microwave chemical vapour deposition of diamond films on long-period fiber gratings for bio-sensing applications
- M. Ficek,
- P. Niedziałkowski,
- M. Śmietana
- + 5 autorów
Nucleation and growth of CVD diamond on fused silica optical fibres with titanium dioxide interlayer
- R. Bogdanowicz,
- M. Śmietana,
- M. Gnyba
- + 5 autorów