Publications
Filters
total: 422
Catalog Publications
Year 2001
-
<title>Modeling of noncontact temperature measurement system using multiwavelength pyrometry</title>
Publication
Year 2003
-
Raman scattering measurements in monitoring of polymer synthesis process
Publication -
Metody i mikrosystemy pomiarowe impedancji do diagnostyki grubowarstwowychpowłok antykorozyjnych.**2003, 104 s. 90 rys. 18 tab. bibliogr. 106 poz. Rozprawa doktorska (04.03.2003 r.), Wydz. ETI. Promotor: prof. dr inż. R. Zielonko.
PublicationPraca jest rozprawą doktorską, której celem było opracowanie nowych metodpomiarowych i procedur diagnostycznych powłok antykorozyjnych, zwłaszczagrubowarstwowych, drogą identyfikacji parametrów impedancyjnych ich modeli(układów zastępczych), nadających się do realizacji praktycznej w mikrosys-temach pomiarowych przeznaczonych do pracy w terenie oraz realizacja przyk-ładowego mikrosystemu pomiarowo-diagnostycznego powłok...
-
Metoda bezkontaktowego wielopasmowego pomiaru emisyjności.**2003, 100 s.30 rys. 6 tab. bibliogr. 86 poz. maszyn. Rozprawa doktorska /01.07.2003/ Wydz. ETI Promotor: prof. zw. dr hab. inż. K. Chrzanowski
PublicationW pracy omówiona została metoda bezkontaktowego wielopasmowego pomiaru emi-syjności. Przedstawiona została ogólna koncepcja systemu pomiarowego do bez-kontaktowych pomiarów emisyjności, a także opracowany został matematyczny o-pis elementów systemu. Dla wyznaczenia nieznanych wartości temperatury i e-misyjności obiektu na podstawie zgromadzonych danych pomiarowych wykorzysta-na została aproksymacja za pomocą liniowej metody najmniejszych...
-
Low frequency noise measurements in advanced silocon devices.**2003, 136 s.116 rys. bibliogr. 29 poz. maszyn. Pomiary małoczęstotliwościowych szumów zaawansowanych elementów krzemowych. Rozprawa doktorska /15.04.2003./ Inst. Natl. P. Grenoble Promotorzy: prof. dr hab. inż. L. Spiralski, dr CNRS G. Ghibaudo.
PublicationW pracy przedstawiono automatyczny system do pomiarów małoczęstotliwoscio-wych szumów struktur elementów półprzewodnikowych. System umożliwia automa-tyczne wyznaczanie charakterystyk stałoprądowych badanego elementu, pomiarszumów i wyznaczanie gęstości widmowej mocy w zadanym zakresie polaryzacji.Przytoczono wyniki przeprowadzonych testów systemu. Ważną składową pracy wy-niki pomiarów szumów tranzystorów MOS i bipolarnych...
-
Fault diagnosis in electronic circuits based on bilinear transformation in 3-D and 4-D spaces
PublicationPrzedstawiono ideę nowych metod diagnostycznych 3-D i 4-D opartych na przek-ształceniu biliniowym. Metody te bazują na transformacjach operujących odpo-wiednio w trzy i czterowymiarowych przestrzeniach funkcji układowych. Dlatych metod omówiono algorytm lokalizacji i identyfikacji pojedynczych uszko-dzeń parametrycznych w liniowych układach elektronicznych oraz algorytm lo-kalizacji i identyfikacji pojedynczych uszkodzeń...
Year 2004
-
Zastosowanie sondy wejściowej w komputerowym systemie pomiarowymdo spektroskopii wysokoimpedancyjnej.
PublicationW pracy przedstawiono komputerowy system pomiarowy do spektroskopii wysokoimpedancyjnej, w którym zastosowano sondę wejściową umożliwiającą pomiary impedancji do |Zx|<100Gohm w szerokim zakresie częstotliwości od 10uHz do 100kHz. Przeanalizowano wpływ głównych źródeł niepewności na dokładność wyznaczenia modułu i argumentu zespolonego stosunku sygnałów wydzielanych w sondzie. Podano wyniki symulacji komputerowych, które pozwoliły...
-
Zastosowanie komputerów w Laboratorium Metrologii i Techniki Eksperymentu.
PublicationW artykule przedstawiono metodykę nauczania oraz aspekty techniczne nowej edycji ćwiczeń w Laboratorium Metrologii i Techniki Eksperymentu. Metodyka ta oparta jest na komputerowym monitorowaniu pracy studenta i sprawdzaniu jego wiedzy. Połączenie programowanych przyrządów laboratoryjnych w system pomiarowy sterowany za pośrednictwem komputera znacznie usprawniło wykonywanie poszczególnych ćwiczeń. Komputer kieruje działaniami studenta,...
-
Wpływ doboru parametrów źródła na rozdzielczość pomiaru w interferometrii niskokoherencyjnej.
PublicationJednym z podstawowych elementów niskokoherencyjnego, interferometrycznego systemu pomiarowego jest szerokopasmowe źródło światła. Wybór źródła jest bardzo ważny, gdyż jego parametry mają bezpośredni wpływ na końcową jakość pomiaru. Z tego też względu wydaje się niezbędnym poznanie charakterystyk źródeł szerokopasmowych wykorzystywanych w interferometrii niskokoherencyjnej i zależności, pomiędzy parametrami źródła, a jakością pomiaru.
-
Właściwości szumowe piroelektrycznych detektorów podczerwieni.
PublicationW artykule omówiono specyfikę pomiaru szumów małoczęstotliwościowych piroelektrycznych detektorów podczerwieni. Opisano sysytem umożliwiający pomiary szumów w zakresie częstotliwości od 0.1 Hz do 30 kHz. Przytoczono przykładowe wyniki pomiarów szumów.
-
<title>White-light interferometric temperature sensor for biomedical diagnostic</title>
Publication -
White-light interferometric temperature sensor for biomedical diagnostic.
PublicationW artykule opisano opracowany model miniaturowego, światłowodowego czujnika temperatury z interferometrem Fabry-Perot wykorzystującego interferencję światła białego przeznaczonego do zastosowań biomedycznych. Analizowano czujnik wykonany ze światłowodu wielomodowego o skokowym profilu współczynnika załamania oraz ze światłowodu monomodowego. Zasadniczym celem był dobór parametrów mający na celu uzyskania maksymalnej widzialności...
-
Wejściowo-wyjściowa metoda detekcji uszkodzeń w elektronicznych układach analogowych uwzględniająca tolerancje elementów.
PublicationPrzedstawiono nowe podejście detekcji i lokalizacji uszkodzeń w elektronicznych układach analogowych z uwzględnieniem tolerancji elementów. Składa się ono z dwóch etapów. W pierwszym etapie tworzony jest słownik uszkodzeń składający się z opisu elipsy aproksymującej obszar nominalny reprezentujący brak uszkodzeń i współczynników określających szerokość pasów lokalizacyjnych. Zaprezentowano nowy algorytm tworzenia takiej elipsy...
-
Uniform corrosion monitoring of carbon steel in concrete.
PublicationW przypadku korozji prętów zbrojeniowych w żelbecie zaobserwowane zostały obszary wzmożonego zaatakowania. Pomiar prądowego i napięciowego szumu elektrochemicznego umożliwia wyznaczenie szybkości korozji ogólnej a zmiany parametrów statystycznych przebiegów szumowych umożliwiają detekcję występowania przestrzennych rejonów intensyfikacji korozji. Przedstawione rezultaty, oparte na wykorzystaniu odpowiedniego układu zastępczego,...
-
<title>Ultrahigh-resolution detection techniques for biomedical applications of optical coherent tomography</title>
Publication -
Ultrahigh-resolution detection techniques for biomedical applications of optical coherent tomography.
PublicationOptyczne metody pomiarowe odgrywają w ostatnich latach coraz większą rolę w badaniach i diagnostyce medycznej. Mają one szereg zalet, do których zaliczyć można odporność na promieniowanie elektromagnetyczne, bezinwazyjność, bezpieczeństwo pomiaru oraz wysoką rozdzielczość. Jedną z najważniejszych technik stosowanych w diagnostyce medycznej jest koherentna tomografia optyczna (OCT). Jest to wysokorozdzielcza metoda obrazowania wewnętrznych...
-
Układ akwizycji danych pomiarowych wykorzystujący pamięć FIFO.
PublicationW pracy omówiono zagadnienia związane z akwizycją danych w pomiarach masy pojazdów w ruchu przy pomocy sensorów światłowodowych. Przedstawiono projekt dwukanałowego układu akwizycji sygnału analogowego wykorzystującego pamięć FIFO. Zaprezentowano wyniki charakteryzacji wykonanego układu.
-
Time-of-flight spectroscopy for medical applications.
PublicationW pracy przedstawiono korzyści optycznej spektroskopii czasu przelotu, w zastosowaniach medycznych. Przedstawiono także zasadę pomiarów oraz pokazano, jak z danych pomiarowych można wyznaczyć podstawowe parametry optyczne tkanki. Potencjał pomiarowy optycznej spektroskopii czasu przelotu zaprezentowano na przykładzie pomiarów ośrodków silnie rozpraszających światło jakimi są: papier, cicze technologiczne z papierni, wodne roztwory...
-
The influence of sampling parameters on accuracy of capacitance measurement in the method based on DSP.
PublicationW artykule przedstawiono metodę pomiaru parametrów impedancyjnych bazującą na próbkowaniu sygnałów pomiarowych i DSP. Przeanalizowano wpływ głównych źródeł niepewności i błędów na dokładność pomiaru pojemności. Zawarto analizę dla następujących parametrów: niesynchroniczne próbkowanie sygnałów pomiarowych (napięciowego i prądowego), rozdzielczość przetwornika a/c i ilość zbieranych próbek. Załączono wyniki symulacji.
-
The high impedance measuring probe for gain-phase analysers.
PublicationAutorzy opracowali tanią sondę pomiarową przeznaczoną do pracy z analizatorami gain-phase jak Solartron 1260 Impedance/Gain-phase Analyser, 1255 Frequency Response Analyser (FRA) lub starszymi wersjami 1250, 1253. Przedstawiona architektura sondy wyznacza jej parametry metrologiczne. Pomiary możliwe są w 8 zakresach obejmujących wartości 100ohm<|Zx|<100Gohm w szerokim zakresie częstotliwości 10uHz-1MHz. Obwód wejściowy sondy pozwala...
-
The Goertzel filter-bank usage in the non-stationary impedance measurement.
PublicationArtykuł prezentuje metodę pomiaru parametrów impedancyjnych w warunkach niestacjonarnych bazującą na próbkowaniu sygnałów pomiarowych i przetwarzaniu cyfrowym. Zaproponowano i przeanalizowano zastosowanie banku filtrów Goertzela. Porównano zaproponowane podejście z tradycyjnie stosowaną metodą STDFT. Przedstawiono wynik symulacji i pomiarów.
-
Testing method of analog parts for mixed signal microsystems based on microcontrolles.
PublicationZaproponowano nową metodę detekcji i lokalizacji pojedynczych uszkodzeń parametrycznych, która może znaleźć zastosowanie do samo-testowania sieci analogowych w mikrosystemach mieszanych sygnałowo sterowanych mikrokontrolerami. Metoda ta jest oparta na przekształceniu transformującym próbki odpowiedzi czasowej na pobudzenie impulsem prostokątnym na krzywe identyfikacyjne na płaszczyźnie. Metoda pozwala na detekcję i lokalizację...
-
Techniques of interference reduction in probe system for wafer level noise measurements of submicron semiconductor devices.
PublicationPrzedstawiono skrótowo system do ostrzowych pomiarów szumów struktur submikronowych. Znaczny wpływ na pomiary ostrzowe mają zakłócenia i szumy własne systemu, zwłaszcza zakłócenia o wysokim poziomie wpraowadzane przez ostrza (fluktuacje rezystancji styków ostrza do struktury powodowane przez wibracje i udary mechaniczne w środowisku pomiarowym)i środowisko elektromagnetyczne. Zakłócenia okresowe powodowane przez wibracje i pola...
-
Światłowodowe sensory odkształceń i temperatury wykorzystujące pomiar czasu .
PublicationW pracy przedstawiono zasadę działania światłowodowych sensorów wykorzystujących pomiar czasu przelotu krótkich impulsów laserowych. Sensory te mogą pracować w trybie transmisyjnym lub odbiciowym. Dzięki swej małej tłumienności można je łatwo łączyć w sieci o różnych topologiach, mających wiele (dziesiątki lub setki punktów pomiarowych). Przykładem sensora z pomiarem czasu przelotu jest odcinek światłowodu jednomodowego poddany...
-
Sythesis and Characterization of Optical Sol-Gel Adhesive for Military Protective Polycabonate Resin.Wytwarz
PublicationPrzedstawiono proces syntezy spoiw optycznych do laminatów poliwęglanowych. Scharakteryzowano właściwości optyczne i mechniczne. W procesie syntezy zastosowano monitoring ramanowski do diagnostyki przebiegu bazowych reakcji chemicznych.
-
Spektrometr fourierowski z pryzmatem Nomarskiego.
PublicationW pracy omówiono zasadę działania i stosowane realizacje spektrometru fourierowskiego. Zaprezentowano wyniki modelowania optycznej części spektrometru wykorzystującego pryzmat Nomarskiego. Omówiono wyniki pomiarów widma diod elektroluminescencyjnych wykonane przy pomocy zrealizowanego prototypu.
-
Resistance Noise Higher-Order Spectrums in Nanoparticle Gas Sensors.
PublicationPrzedstawiono badania fluktuacji rezystancji sensora gazu wykonanego z nanocząstek WO3. Stwierdzono występowanie składowych o rozkładzie prawdopodobieństwa różnym od rozkładu Gaussa. W celu zwiększenia czułości i selektywności wykrywanych gazów zastosowan do analizy obserwowanych fluktuacji spektra wyższych rzędów.
-
Random components influence on the values characterising periodic disturbances in low voltage supply lines.
PublicationAnalizowano wpływ składowych losowych na wielkości charakteryzujących zaburzenia okresowe w napięciu zasilania na przykładzie współczynnika zawartości harmonicznych (THD). Zaprezentowano sposób wyznaczania niepewności pomiaru współczynnika THD, uwzględniający występowanie korelacji pomiędzy składową podstawową i kolejnymi harmonicznymi napięcia sieci a także między poszczególnymi harmonicznymi. Przedstawiono analizę wyników z pomiarów...
-
Raman studies of ferroelectric ceramics.
PublicationPrzedstawiono potencjał aplikacyjny spektroskopii Ramana w diagnostyce procesu technologicznego wytwarzania cienkowarstwowych struktur perowskitowych o strukturze Ba(Ti1 xZrx)O3, posiadających możliwość strojenia przenikalności elektrycznej za pomocą pola elektrycznego. Skonfigurowano systemy pomiarowe do badania zarówno próbek objętościowych, jak i struktur cienkowarstwowych. Zidentyfikowano najistotniejsze linie w widmach ramanowskich,...
-
Raman Spectroscopy for Investigation of Sol-Gel Materials and Ceramic Materials.
PublicationPrzedstawiono rezultaty prac nad zastosowanie spektroskopii ramanowskiej do badania polimerów hybrydowych wytwarzanych metodą zol-żel oraz ceramik ferroelektrycznych. Wykonano pomiary dla próbek objętościowych i struktur cienkowarstwowych. Zademonstrowano możliwośc monitorowania procesu syntezy w czasie rzeczywistym.
-
Optyczna tomografia niskokoherencyjna wykorzystująca reflektometrię optyczną OTDR.
PublicationW artykule omówiono OCT (optyczną tomografię niskokoherentną) wykorzystującą technikę OLCDR (niskokoherentną reflektometrię optyczną). Określono wpływ parametrów źródeł światła na podłużną i poprzeczną rozdzielczość pomiaru oraz na wartość stsounku sygnał-szum.
-
Optoelektroniczne metody pomiaru grubości cienkich transparentnych warstw wytwarzanych w procesach próżniowych.
PublicationW artykule opisano problemy związane z określaniem grubości cienkich transparentnych warstw dielektrycznych, syntetyzowanych w procesach próżniowych. Przedstawiono stosowane metody pomiarowe, szczególny nacisk kładąc na techniki optoelektroniczne, oparte na badaniu interferencji i zmiany stanu polaryzacji światła w wyniku oddziaływania z cienką warstwą oraz na analizie spektralnej. Opisano praktyczne układy, umożliwiające pomiary...
-
Optoelektroniczne metody ochrony infrastruktury teleinformatycznej.
PublicationKluczowe znaczenie infrastruktury teleinformatycznej w funkcjonowaniu współczesnego państwa wymaga zapewnienia bezpieczeństwa jej funkcjonowania. W referacie omówiono metody kontroli dostępu do obiektów infractruktury teleinformatycznej wykorzystujące optyczne techniki wykrywa-nia i zobrazowania oraz interferometryczne rozłożone sensory światłowodowe i sieci sensorowe. Przedstawiono zastosowanie technik biometrycznych w identyfikacji...
-
Optical measurements for thin oil film investigation in rheometric processes.
PublicationPrzedmiotem badań jest pomiar parametrów cienkiej warstwy oleju silikonowego AK106, powstającej na ścianach dyszy w trakcie procesu reologicznego wyciskania do form past ceramicznych, przygotowywanych ze sproszkowanego tlenków wodorotlenków AlOOH oraz oleju AK106. Parametrami badanymi były: grubość warstwy oleju, charakterystyka reflektancyjna pasty oraz skład mieszaniny. Przedstawione zagadnienie ma istotne znaczenie dla rozwoju...
-
On fault diagnosis of analogue electronic circuits based on transformations in multi-dimensional spaces.
PublicationPrzedstawiono ideę nowej klasy metod diagnostycznych opartej na przekształceniu transformującym zmiany parametru układu na krzywe identyfikacyjne w przestrzeniach wielowymiarowych. Rozszerzono również klasę tych metod na diagnostykę uszkodzeń wielokrotnych. Dla takich metod omówiono algorytm lokalizacji i identyfikacji pojedynczych i wielokrotnych uszkodzeń parametrycznych w liniowych układach elektronicznych. Przedstawiono rezultaty...
-
Noninvasive glucose sensing in scattering media using OCT, PAS, and TOF techniques.
PublicationW pracy przedstawiono możliwości wykorzystania optycznej tomografii koherencyjnej (OCT), spektroskopii fotoakustycznej (PAS)i spektroskopii czasu przelotu (TOF) w pomiarach glukozy w ośrodku silnie rozpraszającym. Równolegle opracowano modele propagacji światła w tych ośrodkach wykorzystując metodę Monte Carlo. W pomiarach wykorzystano ''Intralipid'' jako fantom tkanki. W dalszych badaniach wykorzystano mięso wieprzowe i dokonano...
-
Noise of optoelectronic coupled devices
Publication -
Noise of optoelectronic coupled devices.
PublicationOpisano trzy systemy do pomiaru szumów transoptora a mianowicie: system do pomiaru szumów m. cz. diod LED, system do pomiaru szumów m. cz. fototranzystorów oraz system do pomiaru szumów m. cz. transoptorów. Przedstawiono wyniki pomiaru szumów m. cz. próby 13 transoptorów. Określono współczynnik korelacji między intensywnością szumów a wybranymi parametrami stałoprądowymi tych transoptorów.
-
Modeling of active fiber Bragg grating underwater acoustic sensor.
PublicationW pracy przedstawiono wyniki modelowania nowego typu przetwornika hydroakustycznego wykorzystującego światłowodową siatkę Bragga. Siatka ta, domieszkowana jonami pierwiastków ziem rzadkich, pracuje jako laser z rozłożonym sprzężeniem zwrotnym, co pozwala na znaczne zwiększenie czułości tego prztwornika w porównaniu z rozwiązaniami wykorzystującymi siatki pasywne. W celu uzyskania równomiernego rozkładu naprężeń siatki zastosowano...
-
Metoda diagnostyki uszkodzeń parametrycznych w mieszanych sygnałowo mikrosystemach elektronicznych.
PublicationZaproponowano nowe podejście samo-testowania sieci analogowych w mikrosystemach mieszanych sygnałowo sterowanych mikrokontrolerami oparte na zmodyfikowanej metodzie 2D. Cechuje się ono prostymi i łatwymi w implementacji algorytmami diagnostycznymi, które z powodzeniem można zaimplementować w prostych, powszechnie stosowanych mikrokontrolerach z interfejsem SPI oraz nie wymaga nadmiernej rozbudowy mikrosystemu o część testującą...
-
Measurements of glucose content in scattering media with time-of-flight technique: comparison with Monte Carlo simulations.
PublicationZbadano możliwości pomiaru koncentracji glukozy w materiale silnie rozpraszającym światło z wykorzystaniem techniki czasu przelotu. Badania przeprowadzono wykorzystując ''Intralipid'' będącym fantomem tkanki. Stężenie glukozy wynosiło 100, 200, 300, 500, 1000, 2000,4000 lub 8000 mg/dl. Wyniki pomiarów porównano z wynikami uzyskanymi na drodze modelowania matematycznego.
-
Measurement of transverse force with polarization-maintaining side-hole fibers.
PublicationW pracy badano możliwości wykorzystania przenoszących stan polaryzacji światłowodów typu Side-Hole do pomiaru siły działającej prostopadle do osi symetrii światłowodu. Na podstawie wyników modelowania stwierdzono, ze niektóre światłowody tego typu charakteryzują się większą czułością aniżeli standardowe światłowody przenoszące stan polaryzacji. W wyniku przeprowadzonych pomiarów potwierdzono wyniki modelowania.
-
Komputerowy system do pomiaru współczynnika zawartości harmonicznych.
PublicationPrzedstawiono rozwiązania funkcjonalne i układowe komputerowego systemu do pomiaru współczynnika zawartości harmonicznych.Szerzej omówiono zastosowane algorytmy realizowane programowo, które umozliwiły zmniejszenie wpływu niepożadanych składowych losowych i okresowych nie skorelowanych z czestotliwościa podstawowa obserwowanego przebiegu. Przytoczono przykładowe wyniki badan eksperymentalnych potwierdzające zasadnośc proponowanych...
-
Higher-Order Statistics for Fluctuation-Enhanced Gas-Sensing.
PublicationPrzedstawiono wyniki badań eksperymentalnych wykrywania wybranych mieszanin gazów za pomocą analizy fluktuacji rezystancji obserwowanych w sensorach gazu. Do analizy obserwowanych fluktuacji wykorzystano gęstość widmową mocy oraz funkcję bispektrum.
-
Higher-Order Spectra in Nanoparticle Gas Sensors.
PublicationPrzedstawiono wyniki badań rezystancji fluktuacji w rezystancyjnych sensorach gazu wykonanych z nanocząstek Pdx(WO3)1-x dla x=0.01 oraz x=0.12. Rozkład prawdopodobieństwa obserwowanych fluktuacji wskazywał na występowanie składowej o rozkładzie różnym od rozkładu normalnego. Do jego scharakteryzowania wykorzystano spektra wyższych rzędów oraz ich przekroje.
-
Gas sensing by resistance fluctuations in PdxWO3 nanoparticle films.
PublicationPrzedstawiono wyniki badań sensorów gazu wykonanych z nanocząstek WO3 z dodatkiem Pd. Stwierdzono, że badanie fluktuacji rezystancji tych sensorów może istotnie zwiększyć czułość wykrywania gazu w porównaniu z obserwacją wyłącznie rezystancji stałoprądowej.
-
Fluctuation-enhanced sensing: electronic dog nose identifies odors and counts molecules.
PublicationPrzedstawiono koncepcję wykrywania mieszanin gazów za pomocą analizy fluktuacji rezystancji sensora gazu. Porównano proponowaną ideę do wykorzystywanej w naturze przez zmysł węchu, w którym do mózgu dociera szereg pojedynczych impulsów elektrycznych wywołujących odczuwane wrażenie zapachowe.
-
Estimation of optical parameters of highly scattering materials by time-of-flight spectroscopy.
PublicationPrzedstawiono metody wyznaczania podstawowych parametrów materiałów silnie rozpraszających światło na podstawie pomierzonego rozkładu czasu przelotu krótkich impulsów laserowych. W algorytmie wykorzystano metodę Monte Carlo i metodę dyfuzji do opisu propagacji światła. Oszacowano dokładność oszacowywania tych parametrów.
-
Diagnostyka procesu CVD metodą optycznej spektroskopii emisyjnej. Diagnostics of CVD process by means of optical emission spectroscopy.
PublicationZastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania z par gazowych wspomaganego plazmą mikrofalową (mPACVD). Zbudowano tor światłowodowy, umożliwiający sprzężenie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne...
-
Diagnostics of cvd process by means of optical emission spectroscopy.
PublicationZastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania z par gazowych wspomaganego plazmą mikrofalową (mPACVD). Zbudowano tor światłodowy, umożliwiający sprzężenie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne...