Filters
total: 3059
filtered: 2329
-
Catalog
- Publications 2329 available results
- Journals 6 available results
- People 173 available results
- Inventions 27 available results
- Projects 15 available results
- Laboratories 6 available results
- Research Teams 17 available results
- Research Equipment 1 available results
- e-Learning Courses 480 available results
- Events 5 available results
Chosen catalog filters
displaying 1000 best results Help
Search results for: KONSTRUKCJE POWŁOKOWE
-
Automatic prosodic modification in a Text-To-Speech synthesizer of Polish language
PublicationPrzedstawiono system syntezy mowy polskiej z funkcją automatycznej modyfikacji prozodii wypowiedzi. Opisane zostały metody automatycznego wyznaczania akcentu i intonacji wypowiedzi. Przedstawiono zastosowanie algorytmów przetwarzania sygnału mowy w procesie kształtowania prozodii. Omówiono wpływ zastosowanych modyfikacji na naturalność brzmienia syntezowanego sygnału. Zastosowana metoda oparta jest na algorytmie TD-PSOLA. Opracowany...
-
Virtual Keyboard controlled by eye gaze employing speech synthesis
PublicationThe article presents the speech synthesis integrated into the eye gaze tracking system. This approach can significantly improve the quality of life of physically disabled people who are unable to communicate. The virtual keyboard (QWERTY) is an interface which allows for entering the text for the speech synthesizer. First, this article describes a methodology of determining the fixation point on a computer screen. Then it presents...
-
Oxide layers fabricated by spray pyrolysis on metallic surfaces = Warstwy tlenkowe wytworzone metoda pirolizy aerozolowej na podłożach metalicznych
PublicationW pracy przebadane zostały możliwości zastosowania metody pirolizy aerozolowej do wytwarzania warstw z tlenku cyrkonu stabilizowanego itrem na podłożu ze stali nierdzewnej 316L.
-
Komputerowa optymalizacja inżynierska z HyperWorks
PublicationNajogólniej pojęta optymalizacja inżynierska obejmuje procesy prowadzone na różną skalę. W grę wchodzą m.in. usprawnienia systemów produkcji, działań logistycznych a także udoskonalanie wyrobu metodą prototypowania i testów rzeczywistych. W artykule zawężono nieco pojęcie optymalizacji inżynierskiej, przyjmując, że chodzi o ilościowe, numeryczne, zautomatyzowane polepszenie cechy części lub złożenia przy dobrze określonych stanach...
-
Naświetlanie schematów gęsto upakowanych połączeń elektrycznych za pomocą prototypowego urządzenia laserowego
Publication -
Electrocatalytic sensor based on Nasicon with auxiliary layer = Czujnik elektrokataliczny na bazie Nasiconu z warstwą dodatkową
PublicationW pracy zostały przedstawione wyniki pomiarów czujnika na bazie Nasiconu pracującego w trybie elektrokatalitycznym. Czujniki takie pobudzane są zmieniającym się napięciem przy jednoczesnym pomiarze odpowiedzi prądowej. Przygotowano czujniki ceramiczne o dwóch różnych typów. Pierwszy z nich to czujnik posiadający dwie identyczne elektrody złote, pomiędzy którymi znajduje się elektrolit stały. Drugi czujnik posiada złote elektrody...
-
Impedance spectroscopy as a diagnostic tool of degradation of Solid Oxide Fuel Cells = Spektroskopia impedancyjna jako narzędzie diagnostyczne degradacji tlenkowych ogniw paliwowych
PublicationTlenkowe ogniwa paliwowe SOFC sa obecnie bliskie komercjalizacji. Wiedza na temat mechanizmów degradacji ogniw paliwowych jest niezbędna do dalszej poprawy ich działania. Spektroskopia impedancyjna jest skutecznym narzędziem diagnostycznym. Pozwala ona na wskazanie który element ogniwa SOFC ulega pogorszeniu oraz pozwala poznać dokładniej naturę procesu degradacji. W tej pracy degradacja ogniwa SOFC została zbadana przy użyciu...
-
Organic photovoltaics - chosen aspects
PublicationThere are many types of organic and organic/inorganic (hybrid) photovoltaic devices that possess many beneficial properties over inorganic solar cells. That makes the former suitable for a broad range of applications and hence so much attention is paid to their development. In spite of intensive research carried on this field of science and technology there are still many crucial problems that need to be solved. Extensive knowledge...
-
Zespolony filtr BiCMOS pośredniej częstotliwości odbiornika Bluetooth
Publication -
Zastosowanie krzyżowania uśredniającego do ewolucyjnej metody wyznaczania ścieżki przejścia na morzu
PublicationArtykuł przedstawia modyfikację operatora krzyżowanie w algorytmie ewolucyjnym dedykowanym do rozwiązywania problemu wyznaczania ścieżki przejścia na morzu. Zastosowany operator krzyżowania uśredniającego zmniejsza wrażliwość algorytmu na postać populacji początkowej oraz pozwala na rozszerzenie zbioru rozwiązań możliwych do uzyskania w porównaniu z wariantem krzyżowania wymieniającego. W artykule wykazano, że zastosowane rozwiązanie...
-
Wireless data transmission for fiber optical sensor system
PublicationW artykule opisano możliwość wykorzystania bezprzewodowego systemu transmisji danych do transmisji sygnałów z czujników światłowodowych.
-
Algorytm PWM dla 9-fazowego silnika indukcjnego
Publication -
Szyk planarny anten mikropasokwych z przeznaczeniem do radaru dopplerowskiego
PublicationW pracy opisano konstrukcję oraz wyniki pomiarów szyku 4 anten mikropaskowych w postaci macierzy 2x2, zaprojektowanych na częstotliwość 10 GHz. Pojedynczym promiennikiem w szyku jest antena mikropaskowa , zasilana przez sprzężenie elektromagnetyczne realizowane przez szczelinę we wspólnym ekranie. W wyniku badań zrealizowanych 3 egzemplarzy szyku stwierdzono, że niewielkie odchyłki w wymiarach fizycznych badanych układów przełożyły...
-
Brain-computer interaction based on EEG signal and gaze-tracking information = Analiza interackji mózg-komputer wykorzystująca sygnał EEg i informacje z systemu śledzenia punktu fiksacji wzroku
PublicationThe article presents an attempt to integrate EEG signal analysis with information about human visual activities, i.e. gaze fixation point. The results from gaze-tracking-based measurement were combined with the standard EEG analysis. A search for correlation between the brain activity and the region of the screen observed by the user was performed. The preliminary stage of the study consists in electrooculography (EOG) signal processing....
-
Synteza warstw diamentowych do zastosowań optoelektronicznych
PublicationDiamenty stosowane w optoelektronice i sensoryce syntetyzowane są w próżni przy użyciu plazmy niskotemperaturowej. Nanostruktury powstają przez wzrost struktur z molekuł, a nawet atomów. Wytwarzanie nanostruktur wymaga precyzyjnego monitoringu procesu syntezy. Optoelektroniczne metody pomiarowe zapewniają kontrolę wzrostu warstw oraz ocenę in situ parametrów materiałowych. W artykule przedstawiono optoelektroniczne metody badania...
-
System lokalizacji dla osób niewidomych
PublicationPrzedstawiono prototyp systemu lokalizacji łączący nawigację satelitarną z nawigacją zliczeniową, który informuje niewidomego użytkownika o aktualnym położeniu oraz opisuje najbliższe otoczenie na podstawie interaktywnego planu miasta. W systemie zastosowano opracowane algorytmy wyznaczania pozycji wykorzystujące filtrację Kalmana lub filtrację cząsteczkową, co pozwoliło znacznie zmniejszyć błędy oszacowań położenia.
-
Diagnostyka uszkodzeń analogowych we wbudowanych systemach elektronicznych z wykorzystaniem interpretera logiki rozmytej
PublicationPrzedstawiono nowe podejście samo-testowania toru analogowego w systemie wbudowanym sterowanym mikrokontrolerem. Podejście to bazuje na metodzie detekcji i lokalizacji pojedynczych uszkodzeń parametrycznych i katastroficznych elementów pasywnych w układach analogowych. W etapie pomiarowym badany tor analogowy pobudzany jest okresowym przebiegiem prostokątnym generowanym przez mikrokontroler, a jego odpowiedź jest próbkowana przez...
-
Elektrokatalityczne czujniki gazów toksycznych
PublicationCzujniki elektrokatalityczne są czujnikami elektrochemicznymi zbudowanymi na bazie elektrolitów stałych. Czujniki te pobudzane są okresowym sygnałem trójkątnym przy jednoczesnym pomiarze odpowiedzi prądowej czujnika. Odpowiedź czujników elektrokatalitycznych niesie znacznie więcej informacji niż można uzyskać z klasycznych elektrochemicznych czujników amperometrycznych lub potencjometrycznych. W artykule przedstawiono wyniki badań...
-
Cyfrowy filtr Hilberta i jego zastosowania
PublicationZaproponowano efektywne rozwiązanie filtru Hilberta o skończonej odpowiedzi impulsowej i o zmiennym opóźnieniu ułamkowym. Oryginalność polega tu na tym, że filtr równocześnie realizuje filtrację zespoloną Hilberta i opóźnianie ułamkowe wejściowego sygnału o wartościach rzeczywistych. Można go więc zastosować np. w systemie GPS lub w każdym innym systemie, gdzie zachodzi jednocześnie potrzeba filtracji Hilberta i estymacji opóźnienia...
-
Testowanie i diagnostyka układów w pełni różnicowych
PublicationZaproponowano tester wbudowany realizujący nowe podejście do testowania układów w pełni różnicowych, polegające na pobudzaniu układu sygnałem wspólnym i pomiarze wyjściowego napięcia różnicowego. Tester wykrywa uszkodzenia parametryczne i strukturalne, które powodują zaburzenie symetrii układu i w rezultacie wzrost wartości napięcia różnicowego. Przeprowadzono analizę właściwości diagnostycznych funkcji układowej, na której bazuje...
-
Problemy wnioskowania z ontologii Semantic Web
PublicationIdea Semantic Web (Semantycznego Internetu) opiera się m.in. na ogłaszaniu w Internecie ontologii stanowiących opis pewnego fragmentu rzeczywistości. Aby miało to sens, ontologie te muszą być sformułowane w jednym, powszechnie akceptowanym języku. Takim językiem jest OWL-DL, promowany i standaryzowany przez konsorcjum W3C. Jest to język opary na formalizmie logicznym zwanym logiką opisową. W tym artykule, po krótkim i nieformalnym...
-
Struktury mikropaskowe z uszkodzoną warstwą metalizacji masy
PublicationPrzedstawiono struktury linii mikropaskowej ze świadomie wprowadzonymi uszkodzeniami metalizacji masy (DGS - Defected Ground Structure). Zaobserwowano wystąpienie filtracji dolnoprzepustowej oraz pasmowej górnozaporowej. Zaprojektowano, wykonano i przebadano dwelementową strukturę filtru. Zauważono efekt spowolnienia fali prowadzący do redukcji wymiarów układu oraz stwierdzono wystąpienie znaczącego tłumienia przy wyższych częstotliwościach.
-
Novel applications of noise measurements in technology and sensing.
PublicationPomiary szumów są źródłem informacji oraz rodzajem badań nieniszczących dotyczących jakości elementów elektronicznych oraz innych materiałów. Mogą one poprawić selektywność i czułość wykrywania gazów oraz pozwalają monitorować zjawiska korozji. W tym celu wyznacza się właściwości statystyczne fluktuacji prądu lub napięcia w zakresie małych częstotliwości. W artykule przedstawiono i przedyskutowano wybrane, ze względu na ich znaczenie...
-
Niskokoherentny, interferometryczny system do badaniawłaściwości materiałów ceramicznych
PublicationPrzedstawiono światłowodowy system dwuwymiarowej wizualizacjiniejednorodnych struktur warstw ceramicznych. Omówiono projekti fizyczną realizację układu wykorzystującego optyczną, niskokoherentną reflektometrię optyczną, która umożliwia nieinwazyjne i bezkontaktowe obrazowanie wewnętrznych struktur różnych materiałówsilnie rozpraszających promieniowanie. Przedstawiono przykładowewyniki pomiarów wewnętrznych warstw ceramiki LSFO....
-
Model egoistycznych ataków na mechanizm odłożenia transmisji w warstwie MAC bezprzewodowych sieci lokalnych ad hoc
PublicationZaprezentowano mechanizm i efekty ataku na mechanizm odczekania CSMA/CA w lokalnej sieci IEEE 802.11. Stosując rachunek miar motywacyjnych pokazano, w jako sposób zachowania niekooperacyjne stacji sieci mogą wpływać na osiąganą globalną przepustowość i rozdział pasma sieci.
-
Kompresja wartości chwilowej sygnału - nowe podejście w analogowym przetwarzaniu sygnałów
PublicationObecnie, w elektronice występuje silny trend w kierunku obniżenia napięć zasilania urządzeń. Jest to wymuszone tym, iż wiele z tych urządzeń jest przenośnych i zasilanych bateryjnie, na przykład telefony komórkowe. Aby efektywnie wydłużyć czas pracy baterii, pobór mocy urządzenia musi zostać obniżony. Jakkolwiek, niskie napięcie zasilania powoduje znaczne utrudnienia w przetwarzaniu sygnałów analogowych. Amplitudy przetwarzanych...
-
Ocena przeżywalności sieci bezskalowych w sytuacji celowych działań niszczących
PublicationW artykule poddano ocenie zachowanie sieci teleinformatycznych w warunkach celowych działań niszczących (ataków). Przebadano zdolność sieci o topologii bezskalowej do zapewnienia przeżywalności usług w przypadku eliminacji jej istotnych węzłów, zwanych centrami. Ukazano istotne różnice dotyczące poziomu jakości odtwarzania usług dla awarii będącej następstwem ataku, w zestawieniu z przypadkiem awarii losowej. Zaproponowano również...
-
Algorytmy i mechanizmy koegzystencji i współpracy heterogenicznych pakietowych systemów radiowych
PublicationPakietowe sieci bezprzewodowe zyskują coraz szerszą akceptację różnych grup użytkowników, zarówno domowych, jak i ostatnio biurowych oraz biznesowych. Są one już nie tylko alternatywą dla sieci przewodowych, ale stanowią też dla nich "konkurencję" - z rozwiązaniami od pikosieci "osobistych" (WPAN) - począwszy, poprzez sieci WLAN (Wireless LAN) i WMAN, a na propozycjach WWAN kończąc. Prace badawcze i implementacyjne, wspierane...
-
Wybrane realizacje układów detekcji czujników optycznych wykorzystujących interferometrię polaryzacyjną
PublicationW artykule przedstawiono wymagania stawiane układom detekcji czujników optycznych wykorzystujących interferometrię polaryzacyjną. Zaprezentowano stosowane rozwiązania tych układów i omówiono możliwości ich modyfikacji poprzez zastosowanie elementów optycznych wykonanych zciekłych kryształów i polimerów ciekłokrystalicznych. Przedstawiono wybrane realizacje układów detekcji i omówiono wpływ szumów części elektronicznej układów na...
-
Dipolowe anteny planarne do zastosowań w standardzie Ultra-Wide band
PublicationW pracy dokonano przeglądu dipolowych anten planarnych projektowanych dla standardu UWB. Przedstawiono przykładowe promienniki oraz symetryzatory szerokopasmowe, które składają sie na antenę dipolową. porównano dopasowania anten dla wybranych kształtów promienników.
-
Optyczna tomografia niskokoherentna w badaniach obiektów technicznych
PublicationW pracy przedstawiono polaryzacyjny system OCT pracujący w dziedzinie czasu z detekcją zrównoważoną do badań obiektów technicznych. Obiektem badań z wykorzystaniem tego systemu były warstwy wykonane z ceramiki PLZT 9/65/35. Mierzone były grubości tych warstw i ich jednorodność.
-
Electrical properties of poros nanocrystalline undoped ceria oxygen sensor
PublicationW pracy zaprezentowano wykonanie czujnika z niedomieszkowanego tlenku ceru o nanometrowych ziarnach krystalicznych. Zastosowana metoda nanoszenia warstw zalicza się do metod niskotemperaturowych. Wytworzone warstwy przebadano za pomocą dyfrakcji rentgenowskiej, mikroskopii elektronowej oraz spektroskopii impedancyjnej. Wykonane czujniki charakteryzują się szybkim czasem odpowiedzi i stabilnym zachowaniem przy zmianach ciśnienia...
-
Realizacja scalonego filtru kanałowego CMOS do wielosystemowego odbiornika telefonii bezprzewodowej
PublicationW pracy przedstawiono projekt i realizację fizyczną i wyniki pomiarowe scalonego filtru kanałowego wielosystemowego odbiornika telefonii bezprzewodowej. Przedstawiony filtr aktywny wykonano w technice RC w technologii 0,35 um CMOS
-
Nowoczesne czujniki do pomiaru wartości potencjału redox
PublicationW artykule przedstawiono koncepcję nowej konstrukcji zespolonego czujnika redox. Zaproponowane rozwiązanie sprawdza się do zastosowania dodatkowych elektrod polaryzowanych potencjałem elektrycznym, co pozwala na kalibracje czujnika, a także zwiększenie dokładności wykonywanych pomiarów redox poprzez zatężenia stężenia jonów przy powierzchni elektrody wskaźnikowej.
-
Zminiaturyzowane czujniki potencjometryczne jako detektory do elektroforezy kapilarnej
PublicationWykorzystanie czujników potencjometrycznych jako detektorów w chromatografii cieczowej (LC) i elektroforezie kapilarnej (CE), będące interesującym rozwiązaniem nie jest praktycznie stosowane. Przeprowadzono elektroforezę kapilarną związków z grupy leków antyhistaminowych i antydepresantów stosując jako zminiaturyzowany czujnik potencjometryczny elektrodę metaliczną z polimerową membraną pozostającą w bezpośrednim kontakcie z powierzchnią...
-
Organiczne ogniwa fotowoltaiczne
PublicationCelem tego artykułu jest ogólne scharakteryzowanie różnych rodzajów OOF, ich struktury i parametrów.
-
Pitch estimation of narrowband-filtered speech signal using instantaneous complex frequency
PublicationIn this paper we propose a novel method of pitch estimation, based on instantaneous complex frequency (ICF). New iterative algorithm for analysis of ICF of speech signal in presented. Obtained results are compared with commonly used methods to prove its accuracy and connection between ICF and pitch, particularly for narrowband-filtered speech signal.
-
Obrazowanie obiektów ukrytych pod powierzchnia
PublicationW pracy przedstawiono wyniki badań symulacyjnych uzyskanych za pomoca rekonstrukcji elektryczno-magnetycznej. Przedstawiono konstrukcję matrycy czujników (elektrod i cewek) charakteryzujaca się przestrzennym rozkładem czułosci umożliwiajacym detekcję obiektów ukrytych tuż pod powierzchnia. Pokazano, że nawet w przypadkach dużej niejednorodnosci i w obecnoci szumów pomiarowych jest możliwe wykrycie anomalii w postaci znacznego...
-
Energia aktywacji i mechanizm przewodzenia w polimerowych czujnikach wilgotności z polietylenoiminy
PublicationPrzedstawiono wyniki badań polimerowych czujników wilgotności z chemicznie modyfikowanej polietylenoiminy (PEI). W oparciu o zależność rezystancji filmów polimerowych od temperatury i wilgotności względnej powietrza wyznaczono wartości energii aktywacji związanej z jonowym przeniesieniem ładunku. Dokonano oceny wpływu rodzaju zastosowanego podłoża i odczynnika sieciującego na trwałość, właściwości elektryczne oraz na wartości energii...
-
Programowalny zlinearyzowany wejściowy stopieńwzmacniacza transkonduktancyjnego CMOS
PublicationW artykule przedstawiono zlinearyzowany wejściowy stopień wzmacniacza transkonduktancyjnego CMOS. W jego skład wchodzi para różnicowa, prosty jednostopniowy wzmacniacz operacyjny o szerokim paśmie oraz rezystor. Elementy te pracują objęte pętlą ujemnego sprzężenia zwrotnego a linearyzacja osiągana jest przez powielenie liniowych charakterystyk rezystora. W rezultacie otrzymujemy wejściowy stopień wzmacniacza transkonduktancyjnego...
-
Uniwersalne stanowisko do pomiaru termicznej stałej czasowej bolometrów
PublicationW komunikacie przedstawiono stanowisko umożliwiające pomiar termicznej stałej czasowej bolometrów. Stanowisko to składa się z układu pomiarowego połączonego z cyfrowym oscyloskopem lub analizatorem sygnału i umożliwia pomiar stałej czasowej w zakresie do kilku sekund. Omówiono budowę i działanie opracowanego układu i zaprezentowano wyniki pomiarów. W komunikacie przedstawiono kierunki dalszych prac.
-
Short review on the design and application of fractionl delay Hilbert transform filter using Farrow structure
PublicationThis paper is treated as a brief summary of our hitherto research on the design and utilization of the FDHTF, particularly in the sub-samole delay estimator.
-
Badanie cienkowarstwowego bolometru z LSFO
PublicationW artykule przedstawiono wyniki badania procesów starzeniowych warstw z niestechiometrycznych tlenków Lantanowo-strontowo-żelazowych. Zaprezentowano wyniki pomiaru termicznej stałej czasowej bolometrów wykorzystujących badane warstwy. Przedstawiono wyniki bezkontaktowego pomiaru temperatury ciała czarnego o temperaturze 38 stopni Celcjusza.
-
Prostokątne anteny mikropaskowe zasilane przez sprzężenie elektromagnetyczne
PublicationPraca dotyczy projektowania anten mikropaskowych dla pasma 2.4 GHz, zasilanych przez sprzężenie elektromagnetyczne realizowane poprzez szczelinę we wspólnym ekranie. Przedstawiono wyniki symulacji komputerowych wybranych konfiguracji anten pod kątem poszerzenia ich pasma pracy. Zamieszczono wyniki pomiarów zrealizowanych modeli anten.
-
Zastosowanie superkondensatorów w autonomicznych systemach fotowoltaicznych
PublicationOpracowany we własnym zakresie, wykonany i opisany zespół układów elektronicznych, nieodzownych w wyposażeniu każdej baterii superkondensatorów stwarza wyjściowe warunki do wszechstronnych badań eksploatacyjnych kosztownej baterii. Wśród nich przedmiotem czołowych i pionierskich w kraju zainteresowań autorów jest problem efektywnej współpracy autonomicznych instalacji PV i superkondensatorów, mających szanse na całkowite wyeliminowanie...
-
Zastosowanie metody różnic skończonych do symulacji czujników elektrokatalitycznych
PublicationW pracy przedstawiono nowe podejście do symulacji charakterystyk woltamperometrycznych czujnika elektrokatalitycznego w oparciu o ogólne prawa i równania opisujące zjawiska elektrochemiczne. Opracowano w tym celu odpowiednie oprogramowanie wykorzystujące metodę różnic skończonych. Wyniki symulacji porównano z wynikami pomiarów oraz symulacji uzyskanymi za pomocą stosowanych wcześniej narzędzi.
-
Optoelektroniczny czujnik do oznaczania stężenia tlenu rozpuszczonego w roztworach wodnych
PublicationW artykule opisano koncepcję nowej konstrukcji czujnika tlenu rozpuszczonego w wodzie. Czujnik ten składa się z dwóch części : optoelekronicznej i elektrochemicznej. Pomiar tym czujnikiem sprowadza się do pomiaru zmiany natęzenia promieniowania monochromatycznego przechodzącego przez komorę wypełnioną roztworem zawierającym tlen rozpuszczony. Część elekrochemiczna czujnika umożliwa przeprowadzenia jego automatycznej kalibracji...
-
Niskonapięciowy filtr analogowy CMOS wykorzystujący konwerter ujemnoimpedancyjny
PublicationA low-voltage 3-order low-pass CMOS filter based on the novel current inversion type negative impedance converter (CNIC) is presented. It shows a badwidth of 10 MHz at 400 uW power consumption and 2 V supply voltage when realized in a 0.35 um CMOS process.
-
Badanie niejednorodności warstwy ceramiki PLZT metodami optycznej interferometrii niskokoherentnej
PublicationW artykule omówiono metodę badania wewnętrznej struktury materiałów ceramicznych z wykorzystaniem interferometrii niskokoherentnej. Przedstawiono układ pomiarowy optycznej tomografii koherentnej, wykorzystujący niskokoherentny interferometr do badania niejednorodności występujących w strukturze ośrodków rozpraszających. Zaprezentowano wyniki pomiarów grubości i niejednorodności ceramicznych warstw PLZT. Przeprowadzono rozważania...
-
Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych
PublicationPrzedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, wykorzystywanych do wytwarzania cienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano przestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plaźmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzęgniętych z komorą CVD za pomocą dedykowanych...