Search
dr hab. inż. Robert Bogdanowicz
Employment
- Associate professor at Department of Metrology and Optoelectronics
- Team Leader at https://www.diamondized.eu/
- Head of the Laboratory of Innovative Materials and Elements CZT Pomorze at Gdańsk University of Technology
Publications
Filters
total: 250
Catalog Publications
Year 2011
-
Deposition of thin titanium–copper films with antimicrobial effect by advanced magnetron sputtering methods
Publication -
Dynamic Study of Dual High-Power Impulse Magnetron Sputtering Discharge by Optical Emission Imaging
Publication -
Ellipsometric study of carbon nitride films deposited by DC-magnetron sputtering
Publication -
Ellipsometric study of carbon nitride films deposited by DC-magnetron sputtering
PublicationWe report the optical properties of a carbon nitride (CNx) film as a function of nitrogen concentration (N/C) of the deposited film. As nitrogen concentration is increased (N/C ratio) in a CNx film, the refractive index and band gap also increase. The real and imaginary parts, n and k (refractive index and extinction coefficient) of the complex refraction index of carbon nitride films were determined by spectroscopic ellipsometry...
-
Growth and properties of Ti-Cu films with respect to plasma parameters in dual-magnetron sputtering discharges
Publication -
Surface-Plasmon-Coupled Emission of Rhodamine 110 in a Silica Nanolayer
PublicationThe first observation of strong directional surface-plasmon-coupled emission (SPCE) of Rhodamine 110 in silica nanofilms deposited on silver nanolayers is reported. The preparation of the material is described in detail. The intensity of SPCE exceeds 10 times that of free space fluorescence and total linear light polarization in the SPCE ring is observed. A new experimental setup and an original data collection method is presented....
Year 2010
-
Effect of nitrogen doping on TiOxNy thin film formation at reactive high-power pulsed magnetron sputtering
PublicationThe paper is focused on a study of formation of TiOxNy thin films prepared by pulsed magnetron sputtering of metallic Ti target. Oxygen and nitrogen were delivered into the discharge in the form of reactive gases O2 and N2. The films were deposited by high-power impulse magnetron sputtering working with discharge repetition frequency f = 250 Hz at low (p = 0.75 Pa) and high (p = 10 Pa) pressure. The substrates were on floating...
-
Effect of nitrogen doping on TiOxNythin film formation at reactive high-power pulsed magnetron sputtering
Publication -
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
PublicationPrzedstawiono wybrane problemy diagnostyki ramanowskiej in-situ wzrostu cienkich warstw węglowych w prózniowym procesie CVD, w szczególności problemy doboru długości fali lasera oraz konstrucji głowic optycznych. Opisano system pomiarowy zrealizowany w Katedrze Optoelektroniki i Systemów Elektronicznych PG. Przedstawiono wyniki wstępnych pomiarów oraz ich interpretację.
-
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
PublicationPrzedstawiono zagadnienia monitorowania in-situ prózniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, a w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnych (zawartości faz węglowych sp2 i sp3, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii in-situ podczas procesu syntezy pozwala monotorować poprawność przebiegu procesu i opracować...
-
Optoelectronic system for monitoring of thin diamond layers growth
PublicationDevelopment of the optoelectronic system for monitoring of diamond/DLC (Diamond-Like-Carbon) thin films growth during mu PA ECR CVD (Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition) process is described. The multi-point Optical Emission Spectroscopy (OES) and Raman spectroscopy were employed as non-invasive optoelectronic tools. Dissociation of H-2 molecules, excitation and ionization of hydrogen...
-
Optoelektroniczny system przestrzennego monitoringu wzbudzenia plazmy w procesach syntezy optycznych warstw diamentopodobnych
PublicationPrzedmiotem pracy jest optoelektroniczny system do badania wzbudzenia plazmy mikrofalowej w procesie syntezy warstw DLC (ang. Diamond Like-Carbon). W komunikacie zaprezentowano budowę systemu do przestrzennego monitoringu stanu wzbudzenia plazmy podczas procesu CVD. System SR-OES (ang. Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy) umożliwia określanie rozkładu wzbudzenia cząstek w przestrzeni komory i na tej podstawie wybrania...
Year 2009
-
Ellipsometric study of oxide formation on Cu electrode in 0.1 M NaOH
Publication -
Ellipsometry study of oxide formation on Cu electrode in 0.1 M NaOH
PublicationPrzedstawiono przykład zastosowania techniki elipsometrii monochromatycznej w celu określenia dynamiki wzrostu warstw tlenkowych i wodorotlenkowych na miedzi w środowisku 0.1M NaOH. Badania te stanowią część projektu skupiającego się na oznaczeniu fizycznych i elektrycznych własności tlenku miedzi (I) oraz tlenku miedzi (II) podczas procesu formowania się warstwy. Jednoczesne pomiary elipsometryczne i impedancyjne są nowatorskie...
-
Long-working-distance Raman system for monitoring of uPA ECR CVD process of thin diamond/DLC layers growth
PublicationW artykule przedstawiono konstrucję systemu optoelektronicznego do monitoringu ramanowskiego in-situ procesu μPA ECR CVD (ang.: Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition), stosowanego do osadzania cienkich warstw diamentowych i diamentopodobnych DLC. System ma budowę modułową i wyposażony jest w dedykowane sondy optyczne. Przedstawiono wyniki pomiarów testowych, potwierdzjące, że system posiada...
-
Optoelectronic system for investigation of cvd diamond/DLC layers growth
PublicationDevelopment of the optoelectronic system for non-invasive monitoring of diamond/DLC (Diamond-Like-Carbon) thin films growth during μPA ECR CVD (Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition) process is described. The system uses multi-point Optical Emission Spectroscopy (OES) and long-working-distance Raman spectroscopy. Dissociation of H2 molecules, excitation and ionization of hydrogen atoms...
-
Optoelektroniczny monitoring stanu wzbudzenia plazmy niskotemperaturowej w procesach syntezy optycznych warstw diamentopodobnych
PublicationZrealizowana praca jest jednym z głównych zadań wieloletniego projektu badawczego z zakresu syntezy warstw diamentopodobnych. Celem bezpośrednim pracy było określenie rozkładu wzbudzenia plazmy w komorze technologicznej stanowiska PA ECR CVD. Głównym celem było opracowanie optoelektronicznego systemu pomiarowego, na którego potrzeby zastosowano przestrzennie selektywną optyczną spektroskopię emisyjną dedykowaną do badania procesu...
-
Physical properties of homogeneous TiO2 films prepared by high power impulse magnetron sputtering as a function of crystallographic phase and nanostructure
PublicationOptical, photo-electrochemical, crystallographic and morphological properties of TiO2 thin films prepared by high power impulse magnetron sputtering at low substrate temperatures (<65 ◦C) without post-deposition thermal annealing are studied. The film composition-anatase, rutile or amorphous TiO2-is adjusted by the pressure (p ∼ 0.75-15 Pa) in the deposition chamber. The different crystallographic phases were determined with grazing...
-
Physical properties of homogeneous TiO2films prepared by high power impulse magnetron sputtering as a function of crystallographic phase and nanostructure
Publication
Year 2008
-
Fiber-optic temperature sensor using low-coherence interferometry
Publication -
Investigation of H2:CH4 plasma composition by means of spatially resolved optical spectroscopy
PublicationThe system based on spatially resolved optical emission spectroscopy dedicated for in situ diagnostics of plasma assisted CVD processes is presented in this paper. Measurement system coupled with chemical vapour deposition chamber by dedicated fiber-optic paths enables investigation of spatial distribution of species densities (Hx, H+, CH, CH+) during chemical vapour deposition process. Experiments were performed for a various...
-
Optical and chemical characterization of thin TiNx films deposited by DC-magnetron sputtering
PublicationThin titanium nitride (tinx) films were deposited on silicon substrates by means of a reactive dc-magnetron plasma. Layers were synthesized under various conditions of discharge power and nitrogen flows in two operation modes of the magnetron (the so-called "balanced" and "unbalanced" modes). The optical constants of the tinx films were investigated by spectroscopic ellipsometry (se). X-ray photoelectron spectroscopy (xps) was...
-
Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych
PublicationW pracy przedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, wykorzystywanych do wytwarzania cienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano przestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plaźmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzęgniętych z komorą CVD za pomocą...
-
Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych
PublicationPrzedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, wykorzystywanych do wytwarzania cienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano przestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plaźmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzęgniętych z komorą CVD za pomocą dedykowanych...
-
Reactive deposition of TiNx layers in a DC-magnetron discharge
PublicationTiNx layers have been deposited in 'balanced mode' and 'unbalanced mode' of a reactive DC-magnetron plasma (carrier gas argon, reactive gas nitrogen) under different conditions. Discharge power and reactive gas flow have been varied. The layers have been examined by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), X-ray reflectometry (XR), and spectroscopic ellipsometry (SE). The results of the layer analyses were combined with plasma investigations...
-
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
PublicationPrzedstawiono prototyp optoelektronicznego systemu do monitorowania in-situ procesu CVD, wspomaganych plazmą mikrofalową. System składa się z układu optycznej spektroskopii emisyjnej OES oraz specjalizowanego spektroskopu ramanowskiego RS. Umożliwia on równoczesne monitorowanie składu plazmy oraz określanie dynamiki wzrostu i zawartości defektów warstwy. Przedstawiono wyniki badań przebiegu procesu wytwarzania warstw diamentopodobnych...
Year 2007
-
Design and simulation of excitation laser system for in-situ Raman monitoring
PublicationPraca opisuje projekt oraz kontrukcję laserowego pobudzania próbek cienkowarstwowych. Zaprezentowana modelowanie optyczne systemu pobudzania oraz konfigurację prototypu. Układ znajdzie zastosowanie w długoogniskowym spektroskopie ramanowskim pracującym na stanowisku PA CVD.
-
Elipsometric data analysis used in on-line metal passivation monitoring
PublicationWykorzystano technikę elipsometrii monochromatycznej do opisu on-line warstw tlenkowych, elektroosadzanych na miedzi. Elipsometria jest w stanie dostarczyć informacji odnośnie grubości i współczynników załamania światła układów warstwowych, jednakże wymagane w tym celu jest zbudowanie matematycznego modelu odwzorowującego stałe optyczne układu badanego. W powyższej pracy przedyskutowane zostały różne metody dopasowywania modelu...
-
Ellipsometric data analysis used in on-line metal passivation monitoring
Publication -
Synteza warstw diamentowych do zastosowań optoelektronicznych
PublicationDiamenty stosowane w optoelektronice i sensoryce syntetyzowane są w próżni przy użyciu plazmy niskotemperaturowej. Nanostruktury powstają przez wzrost struktur z molekuł, a nawet atomów. Wytwarzanie nanostruktur wymaga precyzyjnego monitoringu procesu syntezy. Optoelektroniczne metody pomiarowe zapewniają kontrolę wzrostu warstw oraz ocenę in situ parametrów materiałowych. W artykule przedstawiono optoelektroniczne metody badania...
-
WOPT-uniwersalny system do analizy i symulacji widm optycznych cienkich struktur dielektrycznych
PublicationPrzedstawiono system WOPT umożliwiający symulację złożonych, dielektrycznych powłok cienkowarstwowych. Oprogramowanie służy zarówno do projektowania specjalistycznych wielowarstwowych powłok optycznych jak i do kontroli parametrów gotowych produktów cienkowarstwowych. Za pomocą programu można wykonać analizę grubości oraz optycznych parametrów materiałowych powłok dielektrycznych na postawie wykonanych pomiarów spektralnych. Wykonano...
Year 2006
-
Optoelectronic monitoring of plasma discharge optimized for thin diamond film synthesis
PublicationPraca dotyczy optoelektronicznego monitoringu wyładowań jarzeniowych podczas syntezy diamentu cienkowarstwowego. Analizę składu plazmy wykonano za pomoca optycznej spektroskopii emisyjnej. Badania mają na celu zdalne określenie składu plazmy oraz jego wpływu na systezę warstw diamentopodobnych.
-
Raman modular system with fibre-optic probes for remote monitoring of CVD process
PublicationW pracy opisano konstrukcję modułowego spektroskopu ramanowskiego umożliwiającego monitorowanie wzrostu warstw w procesach CVD. Przedstawiono rezultaty testów skostruowanego układu oraz wstępne wyniki pomiarów warstw diamentowych.
-
Wytłaczanie past ceramicznych - optyczny monitoring poślizgu przyściennego
PublicationPrzedmiotem niniejszej pracy jest optyczna metoda spektroskopii reflektancyjnej do pomiaru in situ grubości warstwy przyściennej w procesie wytłaczania past ceramicznych, którą można stosować bez zakłócania przebiegu procesu. Może ona znaleźć zastosowanie do dostarczania danych w analizie i modelowaniu procesu wytłaczania, a także do kontroli on-line przebiegu procesu produkcyjnego.
Year 2005
-
Optical monitoring of thin oil film thickness in extrusion processes
PublicationPraca porusza problem pomiaru grubości cienkiej warstwy przyściennej -oleju, podczas procesu wyciskania ceramiki modelowej. Szczegółowo opisuje zjawiska fizyczne zachodzące w warstwie przyściennej oraz dynamiczne parametry wykorzystywane do oceny grubości. Autorzy opisują także metodę pomiaru oraz konstrukcję układów pomiarowych.
-
Optyczny tester chropowatości powierzchni szyb samochodowych
PublicationSzyby samochodowe w okresie eksploatacji ulegają uszkodzeniom czego wynikiem są kratery i zarysowania. Obecnie, stan powierzchni szyb samochodowych oceniany jest subiektywnie przez pracowników stacji diagnostycznych. Nie istnieją normy określające sposób badania chropowatości powierzchni szyb ani też przepisy, na postawie których można by określać jakość powierzchni eksploatowanej szyby. Zaproponowano metodę oceny stanu powierzchni...
-
Raman spectroscopy in investigation of rheometric processes
Publication -
Raman spectroscopy in investigation of rheometric processes
PublicationPraca porusza problem analizy cienkiej warstwy przyściennej -oleju za pomocą spektroskopii ramanowskiej. Parametry (grubość, struktura chemiczna) cienkiej warstwy przyśniennej są istotną informacją do oceny przebiegu procesu wyciskania past modelowych. Zaprezentowano wyniki pomiarów oraz konstrukcje ramanowskich układów pomiarowych.
Year 2004
-
Diagnostics of cvd process by means of optical emission spectroscopy.
PublicationZastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania z par gazowych wspomaganego plazmą mikrofalową (mPACVD). Zbudowano tor światłodowy, umożliwiający sprzężenie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne...
-
Diagnostyka procesu CVD metodą optycznej spektroskopii emisyjnej. Diagnostics of CVD process by means of optical emission spectroscopy.
PublicationZastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania z par gazowych wspomaganego plazmą mikrofalową (mPACVD). Zbudowano tor światłowodowy, umożliwiający sprzężenie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne...
-
Optical measurements for thin oil film investigation in rheometric processes.
PublicationPrzedmiotem badań jest pomiar parametrów cienkiej warstwy oleju silikonowego AK106, powstającej na ścianach dyszy w trakcie procesu reologicznego wyciskania do form past ceramicznych, przygotowywanych ze sproszkowanego tlenków wodorotlenków AlOOH oraz oleju AK106. Parametrami badanymi były: grubość warstwy oleju, charakterystyka reflektancyjna pasty oraz skład mieszaniny. Przedstawione zagadnienie ma istotne znaczenie dla rozwoju...
-
Optoelektroniczne metody pomiaru grubości cienkich transparentnych warstw wytwarzanych w procesach próżniowych.
PublicationW artykule opisano problemy związane z określaniem grubości cienkich transparentnych warstw dielektrycznych, syntetyzowanych w procesach próżniowych. Przedstawiono stosowane metody pomiarowe, szczególny nacisk kładąc na techniki optoelektroniczne, oparte na badaniu interferencji i zmiany stanu polaryzacji światła w wyniku oddziaływania z cienką warstwą oraz na analizie spektralnej. Opisano praktyczne układy, umożliwiające pomiary...
-
Pomiary grubości cienkich warstw metodą modulacji chromatycznej.
PublicationTematem artykułu jest pomiar grubości struktur cienkowarstwowych szerokostosowanych w optoelektronice, transparentnych warstw dielektrycznych. Grubość jest najistotniejszym parametrem warstwy i determinuje jej właściwościoptyczne. Metoda pomiaru grubości cienkich warstw powinna być bezkontaktowa, nieniszcząca, niekosztowna oraz odporna na zakłócenia
Year 2003
-
Chromatic monitoring technique for thickness measurementof thin transparent films.IV Workshopon Atomic and Molecular Physics.
PublicationW pracy opisano nową technikę monitorowania grubości cienkich warstw podczas procesu ich syntezy. Jest to optyczna metoda oparta na zdegenerowanej analizie widmowej tzw. modulacji chromatycznej. Umożliwia ona precyzyjny ciągły pomiar zmian grubości wzrastających warstw stosowanych w optyce.
-
Raman investigation of minor component reaction during polymer synthesisprocess. IV Workshop on Atomic and Molecular Physics.
PublicationWykonano badania ramanowskie reakcji zachodzących podczas procesu wytwarzania polimerów hybrydowych w ich części organicznej. Optyczne monitorowanie przebiegu reakcji w czasie rzeczywistym umożliwiło zbadanie ich efektywności oraz czasu trwania. Wyjaśniono też rolę katalizatorów.
-
Raman scattering measurements in monitoring of polymer synthesis process
Publication -
Raman scattering measurements in monitoring of polymer synthesis process. Lightmetry 2002 : Metrology and Testing Techniques Using Light.
PublicationW artykule omówiono możliwości wykorzystania pomiarów ramanowskich do monitorowania w czasie rzeczywistym przebiegu procesów syntezy materiałów polimerowych. Wykorzystano sondy światłowodowe do sprzęgnięcia aparatury pomiarowej z typowym stanowiskiem technologicznym. Pomiary miały charakter zdalny, nieniszczący i niezakłócający przebieg reakcji.
Year 2002
-
Diagnostyka ramanowska w procesie wytwarzania polimerów hybrydowych dla optoelektroniki.
PublicationPrzeprowadzono badanie procesu technologicznego zol-żel zastosowanego do wytwarzania cienkowarstwowych materiałów optoelektronicznych. Zaproponowano efektywne konfiguracje systemów ramanowskich, które umożliwiają dokonywanie pomiarów dla różnych postaci badanego materiału.
-
Komplementarne metody optyczne do badania struktury molekularnej nowoczesnych materiałów dla optoelektroniki.
PublicationZastosowano komplementarne metody optyczne: spektroskopię ramanowską oraz spektroskopię w podczerwieni do badania reakcji zachodzących w czasie wytwarzania polimerów hybrydowych. Umożliwiło to uszczegółowienie opisu reakcji hydrolizy monomerów w trakcie żelowania.
-
Raman investigation of sol-gel-derived hybrid polymers for optoelectronics
PublicationPrzedstawiono wykorzystanie spektroskopii ramanowskiej do kompleksowej diagnostyki polimerów hybrydowych stosowanych w optoelektronice. Zbadano efektywność kolejnych etapów procesu technologicznego: od monomerów do etapu produktu finalnego - cienkich warstw.
seen 11539 times