Search
dr hab. inż. Robert Bogdanowicz
Employment
- Associate professor at Department of Metrology and Optoelectronics
- Team Leader at https://www.diamondized.eu/
- Head of the Laboratory of Innovative Materials and Elements CZT Pomorze at Gdańsk University of Technology
Publications
Filters
total: 238
Catalog Publications
-
Studies on Aminoanthraquinone-Modified Glassy Carbon Electrode: Synthesis and Electrochemical Performance toward Oxygen Reduction
PublicationIn this paper, 9,10-anthraquinone (AQ) derivative-modified glassy carbon (GC) electrodes werestudied towards the electrochemical reduction of oxygen in aqueous and non-aqueous solutions. The reaction of 1-chloro-9,10-anthraquinone with aliphatic diamines was applied for the synthesis of amino-9,10-anthraquinone derivatives. The obtained AQ derivatives were grafted onto the surface of glassy carbon electrodes by electropolymerisation...
-
Chemical Vapor Transport Route toward Black Phosphorus Nanobelts and Nanoribbons
PublicationChemical vapor transport (CVT) method is widely used for bulk black phosphorus (BP) fabrication. In this work, we demonstrate that CVT provides a route for the fabrication of BP nanoribbons and nanobelts. This method consists of a two-step procedure, including initial BP column growth using the CVT technique, followed by ultrasonic treatment and centrifugation. The obtained nanostructures preserve BP column dimensions, forming...
-
Spatial characterization of H 2: CH 4 dissociation level in microwave ECR plasma source by fibre-optic OES
PublicationSpatially resolved optical emission spectroscopy (SR-OES) was used to investigate microwave activated H2/Ar/CH4 plasma under conditions of the electron cyclotron resonance (ECR). The chemistry and composition of the gas phase were studied using self-designed fibre-optic system with echelle type spectrometer during CVD deposition of polycrystalline diamond. One-dimensional intensity profiles of the main species were collected along...
-
Electrochemical oxidation of sulphamerazine at boron-doped diamond electrodes: Influence of boron concentration
PublicationThe boron-doped diamond (BDD) electrodes with different boron concentrations have been tested as electrode material for sulphamerazine (SRM) oxidation in water solution. An investigation of the electrode morphology and molecular structure was carried out using high resolution scanning electron microscopy (SEM) and Raman spectroscopy. Electrochemical results showed clearly that the kinetics and efficiency of SRM oxidation were dependent...
-
Laser reflectance interferometry system with a 405 nm laser diode for in-situ measurement of CVD diamond thickness
PublicationIn situ monitoring of the thickness of thin diamond films during technological processes is important because it allows better control of deposition time and deeper understanding of deposition kinetics. One of the widely used techniques is laser reflectance interferometry (LRI) which enables non-contact measurement during CVD deposition. The authors have built a novel LRI system with a 405 nm laser diode which achieves better...
-
In-situ optical diagnostics of boron-doped diamond films growth
PublicationInterferometry is a desirable method for in-situ measurement of thin, dielectric film growth, as it don't modify conditions of film deposition. Here we present interferometrical measurements of thickness of doped diamond films during Chemical Vapor Deposition (CVD) process. For this purpose we used a semiconductor laser with a 405nm wavelength. Additional ex-situ measurement using spectral interferometry and ellipsometry...
-
Dynamic Electrochemical Impedance Spectroscopy (DEIS) as a Tool for Analyzing Surface Oxidation Processes on Boron-Doped Diamond Electrodes
PublicationSurface oxidation processes play a key role in understanding electrochemical properties of boron-doped diamond (BDD) electrodes. The type of surface termination groups, which create the potential window of electrolytic water stability or hydrophobicity, influences such properties. In this study the kinetics of oxidation process under anodic polarization were studied in situ by means of Dynamic Electrochemical Impedance Spectroscopy...
-
Novel Functionalization of Boron-Doped Diamond by Microwave Pulsed-Plasma Polymerized Allylamine Film
PublicationWe report the novel modification of a hydrogen-terminated polycrystalline boron-doped electrode with a microwave pulsed-plasma polymerized allylamine. Boron-doped diamond (BDD) was coated with a very thin layer of adherent cross-linked, pinhole- and additive-free allylamine plasma polymer (PPAAm) resistant to hydrolysis and delamination and characterized by a high density of positively charged amino groups. The pulsed microwave...
-
Amperometric sensing of chemical oxygen demand at glassy carbon and silicon electrodes modified with boron-doped diamond
Publication.A boron-doped diamond (BDD) sensor is proposed for effective detection of chemical oxygen demand (COD) by means of amperometric technique. Boron-doped diamond thin films, acting as active sensors, were deposited on both silicon wafer and glassy carbon (GC) substrates by microwave plasma assisted chemical vapour deposition. SEM micrographs showed that BDD–Si displays triangle-faceted crystallites ca. 0.5–3 μm in size, while BDD–GC...
-
Electrochemical oxidation of ionic liquids at highly boron doped diamond electrodes
PublicationUtlenianie elektrochemiczne przy zastosowaniu elektrod diamentowych wysoko domieszkowanych borem (BDD) było badane pod względem przydatności do utylizacji roztworów zawierających ciecze jonowe (ILs). Dwustronne elektrody Si/BDD przygotowano metodą chemicznego osadzania z fazy lotnej wspomaganego plazmą (MW PE CVD). Badanie przy użyciu skaningowej mikroskopii elektronowej (SEM) potwierdziło, że wytworzone warstwy były ciągłe i miały...
-
Elipsometric data analysis used in on-line metal passivation monitoring
PublicationWykorzystano technikę elipsometrii monochromatycznej do opisu on-line warstw tlenkowych, elektroosadzanych na miedzi. Elipsometria jest w stanie dostarczyć informacji odnośnie grubości i współczynników załamania światła układów warstwowych, jednakże wymagane w tym celu jest zbudowanie matematycznego modelu odwzorowującego stałe optyczne układu badanego. W powyższej pracy przedyskutowane zostały różne metody dopasowywania modelu...
-
Synteza warstw diamentowych do zastosowań optoelektronicznych
PublicationDiamenty stosowane w optoelektronice i sensoryce syntetyzowane są w próżni przy użyciu plazmy niskotemperaturowej. Nanostruktury powstają przez wzrost struktur z molekuł, a nawet atomów. Wytwarzanie nanostruktur wymaga precyzyjnego monitoringu procesu syntezy. Optoelektroniczne metody pomiarowe zapewniają kontrolę wzrostu warstw oraz ocenę in situ parametrów materiałowych. W artykule przedstawiono optoelektroniczne metody badania...
-
Raman modular system with fibre-optic probes for remote monitoring of CVD process
PublicationW pracy opisano konstrukcję modułowego spektroskopu ramanowskiego umożliwiającego monitorowanie wzrostu warstw w procesach CVD. Przedstawiono rezultaty testów skostruowanego układu oraz wstępne wyniki pomiarów warstw diamentowych.
-
WOPT-uniwersalny system do analizy i symulacji widm optycznych cienkich struktur dielektrycznych
PublicationPrzedstawiono system WOPT umożliwiający symulację złożonych, dielektrycznych powłok cienkowarstwowych. Oprogramowanie służy zarówno do projektowania specjalistycznych wielowarstwowych powłok optycznych jak i do kontroli parametrów gotowych produktów cienkowarstwowych. Za pomocą programu można wykonać analizę grubości oraz optycznych parametrów materiałowych powłok dielektrycznych na postawie wykonanych pomiarów spektralnych. Wykonano...
-
Optical and structural properties of polycrystalline CVD diamond films grown on fused silica optical fibres pre-treated by high-power sonication seeding
PublicationIn this paper, the growth of polycrystalline chemical vapour deposition (CVD) diamond thin films on fused silica optical fibres has been investigated. The research results show that the effective substrate seeding process can lower defect nucleation, and it simultaneously increases surface encapsulation. However, the growth process on glass requires high seeding density. The effects of suspension type and ultrasonic power were...
-
Thickness and structure change of titanium (IV) oxide thin films synthesized by the sol–gel spin coating method
PublicationTitanium dioxide is a well-known material in nanotechnology, while it provides new opportunities due to its interesting properties, for example, as a semiconductor with a quite significant forbidden band gap energy of 3.2 eV. In this study, thin films of titanium dioxide (TiO2) were synthesized in amorphous and crystallographic systems using the sol–gel process. Atomic Force Microscopy (AFM), Raman spectroscopy and X-ray diffraction...
-
Thin CVD diamond films - synthesis, properties, applications
PublicationThe basic model of diamond films growth, in the low pressure synthesis, deposition from the CVD gas phase, is the mixture of hydrocarbon gas in presence with activated hydrogen and its nucleation on the substrate as a result of pyrolysis reaction. It allows to cross the great energetic barrier between graphite and diamond. High pressure and temperature are replaced by change of electronic structure of atoms into gas precursors...
-
Enhanced capacitance of composite TiO2 nanotube / boron-doped diamond electrodes studied by impedance spectroscopy
PublicationWe report on the novel composite nanostructures based on boron-doped diamond thin film grown on top of TiO2 nanotubes. The nanostructures made of BDD-modified titania nanotubes showed an increase in activity and performance when used as electrodes in electrochemical environments. The BDD thin films (~200-500 nm) were deposited using microwave plasma assisted chemical vapor deposition (MW PA CVD) onto anodically fabricated TiO2...
-
Local impedance imaging of boron-doped polycrystalline diamond thin films
PublicationLocal impedance imaging (LII) was used to visualise surficial deviations of AC impedances in polycrystalline boron-doped diamond (BDD). The BDD thin film electrodes were deposited onto the highly doped silicon substrates via microwave plasma-enhanced CVD. The studied boron dopant concentrations, controlled by the [B]/[C] ratio in plasma, ranged from 1 × 1016 to 2 × 1021 atoms cm−3. The BDD films displayed microcrystalline structure,...
-
Optical and electrical properties of ultrathin transparent nanocrystalline boron-doped diamond electrodes
PublicationThe optical properties of ultrathin (less than 100 nm) boron-doped nanocrystalline diamond (B-NCD) film were investigated in a wavelength range of 200 ÷ 20000 nm. The B-NCD refractive index showed values close to that of monocrystalline diamond (n = 2.45) in a broad wavelength range (450 ÷ 4000 nm). A transmittance up to 70% and the average film thickness of 70 nm were achieved. A special cone-shaped shim was used in the deposition...
-
Optimization of Polycrystalline CVD Diamond Seeding with the Use of sp³/sp² Raman Band Ratio
PublicationThe influence of various nanodiamond colloids used for seeding nondiamond substrates in microwave plasma enhanced chemical vapour deposition diamond process was investigated. Colloids based on deionized water, isopropanol alcohol and dimethyl sulfoxide (DMSO) were used with different grain size dispersion: 150, 400 and 35 nm, respectively. The influence of growth time was also taken into consideration and bias enhanced nucleation....
-
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
PublicationPrzedstawiono prototyp optoelektronicznego systemu do monitorowania in-situ procesu CVD, wspomaganych plazmą mikrofalową. System składa się z układu optycznej spektroskopii emisyjnej OES oraz specjalizowanego spektroskopu ramanowskiego RS. Umożliwia on równoczesne monitorowanie składu plazmy oraz określanie dynamiki wzrostu i zawartości defektów warstwy. Przedstawiono wyniki badań przebiegu procesu wytwarzania warstw diamentopodobnych...
-
Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych
PublicationW pracy przedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, wykorzystywanych do wytwarzania cienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano przestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plaźmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzęgniętych z komorą CVD za pomocą...
-
Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych
PublicationPrzedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, wykorzystywanych do wytwarzania cienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano przestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plaźmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzęgniętych z komorą CVD za pomocą dedykowanych...
-
Investigation of H2:CH4 plasma composition by means of spatially resolved optical spectroscopy
PublicationThe system based on spatially resolved optical emission spectroscopy dedicated for in situ diagnostics of plasma assisted CVD processes is presented in this paper. Measurement system coupled with chemical vapour deposition chamber by dedicated fiber-optic paths enables investigation of spatial distribution of species densities (Hx, H+, CH, CH+) during chemical vapour deposition process. Experiments were performed for a various...
-
Ellipsometry study of oxide formation on Cu electrode in 0.1 M NaOH
PublicationPrzedstawiono przykład zastosowania techniki elipsometrii monochromatycznej w celu określenia dynamiki wzrostu warstw tlenkowych i wodorotlenkowych na miedzi w środowisku 0.1M NaOH. Badania te stanowią część projektu skupiającego się na oznaczeniu fizycznych i elektrycznych własności tlenku miedzi (I) oraz tlenku miedzi (II) podczas procesu formowania się warstwy. Jednoczesne pomiary elipsometryczne i impedancyjne są nowatorskie...
-
Optoelektroniczny monitoring stanu wzbudzenia plazmy niskotemperaturowej w procesach syntezy optycznych warstw diamentopodobnych
PublicationZrealizowana praca jest jednym z głównych zadań wieloletniego projektu badawczego z zakresu syntezy warstw diamentopodobnych. Celem bezpośrednim pracy było określenie rozkładu wzbudzenia plazmy w komorze technologicznej stanowiska PA ECR CVD. Głównym celem było opracowanie optoelektronicznego systemu pomiarowego, na którego potrzeby zastosowano przestrzennie selektywną optyczną spektroskopię emisyjną dedykowaną do badania procesu...
-
Physical properties of homogeneous TiO2 films prepared by high power impulse magnetron sputtering as a function of crystallographic phase and nanostructure
PublicationOptical, photo-electrochemical, crystallographic and morphological properties of TiO2 thin films prepared by high power impulse magnetron sputtering at low substrate temperatures (<65 ◦C) without post-deposition thermal annealing are studied. The film composition-anatase, rutile or amorphous TiO2-is adjusted by the pressure (p ∼ 0.75-15 Pa) in the deposition chamber. The different crystallographic phases were determined with grazing...
-
Long-working-distance Raman system for monitoring of uPA ECR CVD process of thin diamond/DLC layers growth
PublicationW artykule przedstawiono konstrucję systemu optoelektronicznego do monitoringu ramanowskiego in-situ procesu μPA ECR CVD (ang.: Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition), stosowanego do osadzania cienkich warstw diamentowych i diamentopodobnych DLC. System ma budowę modułową i wyposażony jest w dedykowane sondy optyczne. Przedstawiono wyniki pomiarów testowych, potwierdzjące, że system posiada...
-
Efficiency of pollutants removal from landfill leachates using Nb/BDD and Si/BDD anodic oxidation
PublicationLandfill leachates (LLs) is a complex, refectory and difficult to depurate liquid generated from sanitary landfills. It contains excessive levels of biodegradable and in particular non-biodegradable products (e.g. heavy metals, phenols, sulphide, plasticisers). LLs are among the effluents that may pose major environmental concerns, they can be a dangerous source of pollution e.g. due to infiltration into soil and underlying water....
-
Atomic-Scale Finite-Element Modeling of Elastic Mechanical Anisotropy in Finite-Sized Strained Phosphorene Nanoribbons
PublicationNanoribbons are crucial nanostructures due to their superior mechanical and electrical properties. This paper is devoted to hybrid studies of the elastic mechanical anisotropy of phosphorene nanoribbons whose edges connect the terminals of devices such as bridges. Fundamental mechanical properties, including Young’s modulus, Poisson’s ratio, and density, were estimated from first-principles calculations for 1-layer, 3-layer, and...
-
Nonconventional 1,8-Diazafluoren-9-One Aggregates for Green Light Enhancement in Hybrid Biocompatible Media
PublicationOrganic aggregates currently play a prominent role, mainly for their unique optoelectronic properties in the aggregated state. Such properties can be related to the aggregates’ structure and the molecular packing mode. In the literature, we have well-established models of H and J aggregates defined based on the molecular exciton model. However, unconventional aggregates, the most unrecognized forms, have been generating interest...
-
The electrical, morphological and optical properties of heavily boron-doped diamond sheets as a function of methane concentration in the gas phase
PublicationBoron-doped diamonds (BDD) are known for their excellent properties such as high thermal conductivity, high mobility, low absorption in visible light, and biocompatibility. In this work, we investigated the electrical, morphological and optical properties of heavily boron-doped diamond thin sheets as a function of methane concentration in the gas phase. Free-standing diamond sheets were fabricated using a microwave plasma-assisted...
-
Raman spectroscopy in investigation of rheometric processes
Publication -
Optoelectronic system for investigation of cvd diamond/DLC layers growth
PublicationDevelopment of the optoelectronic system for non-invasive monitoring of diamond/DLC (Diamond-Like-Carbon) thin films growth during μPA ECR CVD (Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition) process is described. The system uses multi-point Optical Emission Spectroscopy (OES) and long-working-distance Raman spectroscopy. Dissociation of H2 molecules, excitation and ionization of hydrogen atoms...
-
Optoelektroniczny system przestrzennego monitoringu wzbudzenia plazmy w procesach syntezy optycznych warstw diamentopodobnych
PublicationPrzedmiotem pracy jest optoelektroniczny system do badania wzbudzenia plazmy mikrofalowej w procesie syntezy warstw DLC (ang. Diamond Like-Carbon). W komunikacie zaprezentowano budowę systemu do przestrzennego monitoringu stanu wzbudzenia plazmy podczas procesu CVD. System SR-OES (ang. Spatially Resolved Optical Emission Spectroscopy) umożliwia określanie rozkładu wzbudzenia cząstek w przestrzeni komory i na tej podstawie wybrania...
-
DESIGN THINKING ORIENTED METHODOLOGY IN GROUP PROJECT AS A STEP IN THE CDIO APPROACH
PublicationRecently much scientific research and industrial work is conducted in multidisciplinary teams, where cooperation between specialists from different areas of expertise is required in order to successfully address the challenging goals. Moreover, in start-up small companies the lack of supporting departments calls for additional multidisciplinary, economic and networking skills known as T-shaped personality. Recognizing these shortcomings...
-
Optical properties of boron-doped nanocrystalline diamond films studied by spectroscopic ellipsometry
PublicationThe optical properties of boron-doped nanocrystalline diamond films, coated using Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (μPE CVD) system, were analyzed by spectroscopic ellipsometry. Diamond films were deposited on silicon substrates. The ellipsometry data (refractive index (n(λ)), extinction coefficient (k(λ)) were modeled using dedicated software. Evolution of the optical structure with boron doping was observed...
-
Advancements in Diamond-Like Carbon Coatings
PublicationAn essential resource for engineers and scientists in the coatings field, providing an in-depth examination of current and advanced technologies for industrially oriented nanoceramic and nanocomposite coatings
-
Optoelectronic system for monitoring of thin diamond layers growth
PublicationDevelopment of the optoelectronic system for monitoring of diamond/DLC (Diamond-Like-Carbon) thin films growth during mu PA ECR CVD (Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition) process is described. The multi-point Optical Emission Spectroscopy (OES) and Raman spectroscopy were employed as non-invasive optoelectronic tools. Dissociation of H-2 molecules, excitation and ionization of hydrogen...
-
Effect of nitrogen doping on TiOxNy thin film formation at reactive high-power pulsed magnetron sputtering
PublicationThe paper is focused on a study of formation of TiOxNy thin films prepared by pulsed magnetron sputtering of metallic Ti target. Oxygen and nitrogen were delivered into the discharge in the form of reactive gases O2 and N2. The films were deposited by high-power impulse magnetron sputtering working with discharge repetition frequency f = 250 Hz at low (p = 0.75 Pa) and high (p = 10 Pa) pressure. The substrates were on floating...
-
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
PublicationPrzedstawiono wybrane problemy diagnostyki ramanowskiej in-situ wzrostu cienkich warstw węglowych w prózniowym procesie CVD, w szczególności problemy doboru długości fali lasera oraz konstrucji głowic optycznych. Opisano system pomiarowy zrealizowany w Katedrze Optoelektroniki i Systemów Elektronicznych PG. Przedstawiono wyniki wstępnych pomiarów oraz ich interpretację.
-
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
PublicationPrzedstawiono zagadnienia monitorowania in-situ prózniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, a w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnych (zawartości faz węglowych sp2 i sp3, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii in-situ podczas procesu syntezy pozwala monotorować poprawność przebiegu procesu i opracować...
-
Selected papers from the Smart Engineering of New Materials Conference, 22-25 June 2015, Lodz, Poland
PublicationEditorial to the special issue is a collection of the articles presented at Smart Engineering of New Materials (SENM2015) Conference, held in Lodz, Poland on June 22-25, 2015 (SENM 2015).
-
Raman scattering measurements in monitoring of polymer synthesis process. Lightmetry 2002 : Metrology and Testing Techniques Using Light.
PublicationW artykule omówiono możliwości wykorzystania pomiarów ramanowskich do monitorowania w czasie rzeczywistym przebiegu procesów syntezy materiałów polimerowych. Wykorzystano sondy światłowodowe do sprzęgnięcia aparatury pomiarowej z typowym stanowiskiem technologicznym. Pomiary miały charakter zdalny, nieniszczący i niezakłócający przebieg reakcji.
-
Raman investigation of minor component reaction during polymer synthesisprocess. IV Workshop on Atomic and Molecular Physics.
PublicationWykonano badania ramanowskie reakcji zachodzących podczas procesu wytwarzania polimerów hybrydowych w ich części organicznej. Optyczne monitorowanie przebiegu reakcji w czasie rzeczywistym umożliwiło zbadanie ich efektywności oraz czasu trwania. Wyjaśniono też rolę katalizatorów.
-
Pomiary grubości cienkich warstw metodą modulacji chromatycznej.
PublicationTematem artykułu jest pomiar grubości struktur cienkowarstwowych szerokostosowanych w optoelektronice, transparentnych warstw dielektrycznych. Grubość jest najistotniejszym parametrem warstwy i determinuje jej właściwościoptyczne. Metoda pomiaru grubości cienkich warstw powinna być bezkontaktowa, nieniszcząca, niekosztowna oraz odporna na zakłócenia
-
Chromatic monitoring technique for thickness measurementof thin transparent films.IV Workshopon Atomic and Molecular Physics.
PublicationW pracy opisano nową technikę monitorowania grubości cienkich warstw podczas procesu ich syntezy. Jest to optyczna metoda oparta na zdegenerowanej analizie widmowej tzw. modulacji chromatycznej. Umożliwia ona precyzyjny ciągły pomiar zmian grubości wzrastających warstw stosowanych w optyce.
-
Optoelektroniczne metody pomiaru grubości cienkich transparentnych warstw wytwarzanych w procesach próżniowych.
PublicationW artykule opisano problemy związane z określaniem grubości cienkich transparentnych warstw dielektrycznych, syntetyzowanych w procesach próżniowych. Przedstawiono stosowane metody pomiarowe, szczególny nacisk kładąc na techniki optoelektroniczne, oparte na badaniu interferencji i zmiany stanu polaryzacji światła w wyniku oddziaływania z cienką warstwą oraz na analizie spektralnej. Opisano praktyczne układy, umożliwiające pomiary...
-
Diagnostics of cvd process by means of optical emission spectroscopy.
PublicationZastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania z par gazowych wspomaganego plazmą mikrofalową (mPACVD). Zbudowano tor światłodowy, umożliwiający sprzężenie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne...
seen 8349 times