Search
Filters
total: 2489
filtered: 1970
-
Catalog
- Publications 1970 available results
- Journals 17 available results
- Conferences 1 available results
- People 56 available results
- Inventions 3 available results
- Projects 22 available results
- Laboratories 2 available results
- Research Teams 2 available results
- Research Equipment 2 available results
- e-Learning Courses 72 available results
- Events 3 available results
- Open Research Data 339 available results
Chosen catalog filters
displaying 1000 best results Help
Search results for: MONITORING CIENKICH WARSTW
-
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
PublicationPrzedstawiono wybrane problemy diagnostyki ramanowskiej in-situ wzrostu cienkich warstw węglowych w prózniowym procesie CVD, w szczególności problemy doboru długości fali lasera oraz konstrucji głowic optycznych. Opisano system pomiarowy zrealizowany w Katedrze Optoelektroniki i Systemów Elektronicznych PG. Przedstawiono wyniki wstępnych pomiarów oraz ich interpretację.
-
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
PublicationPrzedstawiono zagadnienia monitorowania in-situ prózniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, a w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnych (zawartości faz węglowych sp2 i sp3, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii in-situ podczas procesu syntezy pozwala monotorować poprawność przebiegu procesu i opracować...
-
Pomiary grubości cienkich warstw metodą modulacji chromatycznej.
PublicationTematem artykułu jest pomiar grubości struktur cienkowarstwowych szerokostosowanych w optoelektronice, transparentnych warstw dielektrycznych. Grubość jest najistotniejszym parametrem warstwy i determinuje jej właściwościoptyczne. Metoda pomiaru grubości cienkich warstw powinna być bezkontaktowa, nieniszcząca, niekosztowna oraz odporna na zakłócenia
-
Wytwarzanie cienkich warstw azotku wanadu metodą termicznego azotowania tlenku wanadu
Publicationw niniejszej pracy opisano metodę wytwarzania cienkich warstw vn - sio2 poprzez termiczne azotowanie powłok vox - sio2. warstwy tlenku wanadu zostały naniesione na szklane podłoża metodą zol - żel. po wysuszeniu nastąpiło wygrzanie warstw w atmosferze amoniaku. wygrzewanie w temperaturze wyższej, od temperatury dysocjacji termiczne amoniaku, mikroporowatych warstw tlenku wanadu spowodowało azotowanie materiału. w konsekwencji procesu...
-
Wytwarzanie cienkich warstw dla tlenkowych ogniw paliwowych metodą pirolizy aerozolowej
PublicationCelem pracy doktorskiej były badania cienkich warstw wytworzonych za pomocą pirolizy aerozolowej na potrzeby tlenkowych ogniw paliwowych. Warstwy te miały spełniać funkcje ochronne dla dwóch zastosowań, jako bariera dyfuzyjna między katodą, a elektrolitem oraz jako warstwy ochronne dla stalowych interkonektorów pracujących w różnych atmosferach.
-
Metody wytwarzania cienkich warstw wykorzystywane przy produkcji tlenkowych ogniw paliwowych
Publication -
Opis metody określania stopnia zwilżalności powierzchni cienkich warstw na przykładzie TiO2
Publicationrozdział opisuje sposób określania stopnia zwilżalności powierzchni cienkich warstw tio2. badane warstwy wytworzono za pomocą zmodyfikowanej metody rozpylania magnetronowego. zwilżalność określono za pomocą specjalistycznego stanowiska do pomiaru kąta zwilżania metodą tak zwanej siedzącej kropli. wyniki pokazały, że badane warstwy tio2 posiadały właściwości hydrofilowe.
-
Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych
PublicationW pracy przedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, wykorzystywanych do wytwarzania cienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano przestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plaźmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzęgniętych z komorą CVD za pomocą...
-
Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych
PublicationPrzedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, wykorzystywanych do wytwarzania cienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano przestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plaźmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzęgniętych z komorą CVD za pomocą dedykowanych...
-
Optoelektroniczne metody pomiaru grubości cienkich transparentnych warstw wytwarzanych w procesach próżniowych.
PublicationW artykule opisano problemy związane z określaniem grubości cienkich transparentnych warstw dielektrycznych, syntetyzowanych w procesach próżniowych. Przedstawiono stosowane metody pomiarowe, szczególny nacisk kładąc na techniki optoelektroniczne, oparte na badaniu interferencji i zmiany stanu polaryzacji światła w wyniku oddziaływania z cienką warstwą oraz na analizie spektralnej. Opisano praktyczne układy, umożliwiające pomiary...
-
Warunki krystalizacji cienkich warstw V2O5 i V2O3 wytwarzanych metodą zol-żel
PublicationPraca ta przedstawia wyniki badań struktury cienkich warstw tlenku wanadu otrzymanych metodą zol - żel. Cienkie warstwy osadzano metodą spin - coating na podłożach wykonanych ze szkła kwarcowego oraz krzemowych. Tak przygotowane próbki wygrzewano w zakresie temperatur od 200 °C do 1200 °C. Zakres temperatur dobrano w taki sposób, aby można było zarówno określić optymalną temperaturę krystalizacji nanoprętów V2O5 jak i otrzymać...
-
Zastosowanie optycznej tomografii niskokoherentnej do 2-wymiarowego obrazowania cienkich warstw polimerów
PublicationW artykule omówiono zasadę działania i przedstawiono podstawowe właściwości systemu OCT (Optical Coherence Tomography). Na przykładzie folii polietylenowej przedyskutowano możliwości wykorzystania systemu do badanie wewnętrznej struktury warstwowej obiektów niebiologicznych. Przedstawiono i omówiono wyniki przeprowadzonych badań nad warstwowymi materiałami przeźroczystymi.
-
Wytwarzanie cienkich warstw elektrolitu w tlenkowych ogniwach paliwowych za pomocą metod napylania
Publication -
Badania eksperymentalne stabilności cienkich warstw cieczy powstających na płaskiej powierzchni z uderzającej strugi aerozolu
PublicationPrzedstawiono wyniki badań stabilności warstwy cieczy powstającej na powierzchni ciała stałego z uderzającej strugi aerozolu. Dla pewnych parametrów przepływu następuje pękanie warstwy cieczy i płynie ona w postaci strug. Zjawisko pękania powoduje gwałtowne zmniejszenie intensywności wymiany ciepła między cieczą a płytą, po której ciecz przepływa.
-
Badanie właściwości fotoelektrycznych cienkich warstw tlenków TiO2:V na zautomatyzowanym stanowisku dla metody obic
Publicationw rozdziale zaprezentowano wyniki badań właściwości fotoelektrycznych struktury tlenku tytanu domieszkowanego wanadem naniesionej na podłoże krzemowe. cienką warstwę tlenkową naniesiono w procesie rozpylania magnetronowego rozpylania magnetronowego. na podstawie badań stwierdzono występowanie efektu fotoelektrycznego na granicy cienka warstwa - podłoże krzemowe.
-
On dielectric spectra of thin copper phthalocyanine films
PublicationPraca przedstawia niskosygnałowe widma dielektryczne, w zakresie częstotliwości 25 Hz-1 MHz, układów kanapkowych takich jak złoto/ftalocyjanina miedzi/magnez i złoto/ftalocyjanina miedzi/złoto.Przeprowadzona analiza umożliwiła odróżnienie w odpowiedzi dielektrycznej oporności elektrod i polaryzacji sieci od procesów związanych z transportem elektrycznych, takich jak relaksacja nośników ładunku w obszarze ładunku przestrzennego...
-
Badania właściwości eksploatacyjnych betonu asfaltowego o nieciągłym uziarnieniu i mastyksu grysoweo SMA do cienkich warstw ścieralnych
PublicationArtykuł przedstawia wyniki badań właściwości mieszanek mineralno-asfaltowych przeznaczonych do cienkich warstw ścieralnych. Wykonano badania odporności mieszanek na: starzenie, działanie wody i mrozu, deformacje trwałe oraz na spękania niskotemperaturowe. Przebadano 2 rodzaje mieszanek: beton o nieciągłym uziarnieniu i mastyks grysowy SMA. Zastosowano 4 rodzaje asfaltów: 1 zwykły, niemodyfikowany i 3 modyfikowane. Stwierdzono,...
-
"Car-Parrinello molecular dynamics" jako kluczowe narzędzie informatyczne w badaniach syntezy cienkich warstw diamentowych metodą PA CVD
PublicationPraca omawia zastosowanie metody Car-Parrinello MD w symulacji procesu wzrostu cienkich warstw diamentowych w metodzie PAC VD.
-
An Optical Low-Coherence System for 2-Dimensional Visualization of Thin Polymer Layers
PublicationW artykule omówiono zasadę działania i przedstawiono podstawowe właściwości systemu OCT (Optical Coherence Tomography). Na przykładzie folii polietylenowej przedyskutowano możliwości wykorzystania systemu do badanie wewnętrznej struktury warstwowej obiektów niebiologicznych. Przedstawiono i omówiono wyniki przeprowadzonych badań nad warstwowymi materiałami przeźroczystymi.
-
Charge photogeneration effect on the exciplex emission from thin organic films
PublicationZaobserwowano silne wygaszenie fluorescencji i fosforescencji ekscypleksowej w układzie dwuamina TPD (donor elektronu): pochodna fenantroliny BPT (akceptor elektronu) w zewnętrznym polu elektrycznym. Efekt ten przypisano wygaszaniu molekularnych ekscytonów singletowych TPD na elektronach akceptorów BPT.
-
Optoelektroniczny monitoring stanu wzbudzenia plazmy niskotemperaturowej w procesach syntezy optycznych warstw diamentopodobnych
PublicationZrealizowana praca jest jednym z głównych zadań wieloletniego projektu badawczego z zakresu syntezy warstw diamentopodobnych. Celem bezpośrednim pracy było określenie rozkładu wzbudzenia plazmy w komorze technologicznej stanowiska PA ECR CVD. Głównym celem było opracowanie optoelektronicznego systemu pomiarowego, na którego potrzeby zastosowano przestrzennie selektywną optyczną spektroskopię emisyjną dedykowaną do badania procesu...
-
Wpływ starzenia termicznego na właściwości elektryczne cienkich warstw TiO2:Nb oraz TiO2:(Co, Pd), jako materiału na półprzewodnikowe czujniki gazu.
PublicationZaobserwowany w ostatnich latach dynamiczny rozwój nowej dziedziny nauki, jaką jest transparentna elektronika, spowodował zintensyfikowanie badań, mających na celu odkrycie i charakteryzację nowych materiałów, w szczególności opartych na tlenkach metali. Współcześnie tlenki zaczęły niekiedy wypierać typowe materiały półprzewodnikowe. Szczególnie interesująca wydaje się perspektywa wykorzystania tlenków metali w czujnikach jako...
-
Wytwarzanie i charakterystyka cienkich warstw diamentowych na podłożach ze szkła kwarcowego, w szczególności na światłowodach włóknistych, dla zastosowań w sensorach optoelektronicznych
PublicationGłównym celem naukowym prac badawczych przeprowadzonych w rozprawie było wytwarzanie i modyfikacja funkcjonalności cienkich, przewodzących warstw diamentowych syntezowanych na podłożach optycznych. W ramach przeprowadzonych badań wytworzono szereg warstw diamentowych o specyficznych właściwościach optycznych i elektrycznych, mających na celu wykazanie możliwości wykorzystania takich struktur dla celów sensorycznych. Do poprawy...
-
Optical and chemical characterization of thin TiNx films deposited by DC-magnetron sputtering
PublicationThin titanium nitride (tinx) films were deposited on silicon substrates by means of a reactive dc-magnetron plasma. Layers were synthesized under various conditions of discharge power and nitrogen flows in two operation modes of the magnetron (the so-called "balanced" and "unbalanced" modes). The optical constants of the tinx films were investigated by spectroscopic ellipsometry (se). X-ray photoelectron spectroscopy (xps) was...
-
Chromatic monitoring technique for thickness measurementof thin transparent films.IV Workshopon Atomic and Molecular Physics.
PublicationW pracy opisano nową technikę monitorowania grubości cienkich warstw podczas procesu ich syntezy. Jest to optyczna metoda oparta na zdegenerowanej analizie widmowej tzw. modulacji chromatycznej. Umożliwia ona precyzyjny ciągły pomiar zmian grubości wzrastających warstw stosowanych w optyce.
-
Long-working-distance Raman system for monitoring of uPA ECR CVD process of thin diamond/DLC layers growth
PublicationW artykule przedstawiono konstrucję systemu optoelektronicznego do monitoringu ramanowskiego in-situ procesu μPA ECR CVD (ang.: Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition), stosowanego do osadzania cienkich warstw diamentowych i diamentopodobnych DLC. System ma budowę modułową i wyposażony jest w dedykowane sondy optyczne. Przedstawiono wyniki pomiarów testowych, potwierdzjące, że system posiada...
-
Badanie właściwości elektrycznych powłok optycznych wytwarzanych metodą rozpylania magnetronowego
PublicationPraca zawiera opis wybranych metod pomiarów elektrycznych cienkich warstw tlenkowych wytwarzanych metodą rozpylania magnetronowego. Omówiono metody pomiaru i stanowiska pomiarowe używane do mierzenia parametrów elektrycznych warstw tlenkowych. Zaprezentowano przykładowe wyniki pomiarów cienkich warstw opartych na tlenku tytanu.
-
Structure and superconductivity of VN-SiO2 films obtained by thermal nitridation of sol-gel derived coatings
PublicationPraca prezentuje wyniki badań strukturalnych oraz właściwości nadprzewodzących cienkich warstw xVN-(100-x)SiO2, gdzie x = 90, 80, 70, 60 mol%. Warstwy zostały wykonane metodą termicznego azotowania z użyciem amoniaku cienkich warstw tlenkowych otrzymanych metodą zol-żel. Badania struktury przeprowadzono metodami XRD oraz XPS, natomiast właściwości nadprzewodzące badano metodą MMMA. Właściwości nadprzewodzące warstw zależą zarówno...
-
Study of antistatic properties of TiO2:Tb and TiO2:(Tb,Pd) thin films obtained by magnetron sputtering process
PublicationPraca zawiera opis metody pomiaru właściwości antystatycznych cienkich warstw wraz ze zdefiniowaniem kryteriów antystatyczności powierzchni. przedstawiono wyniki pomiarów czasów rozładowywania się warstw tlenkowych. materiały wytworzono metodą rozpylania magnetronowego.
-
Characterization of PLZT Thin Films for Fast Electro-Optical Sampling Circuits
PublicationW artykule omówiono technologię wytwarzania cienkich warstw wybranych kompozycji ceramik ołowiowo-lantanowo-cyrkonowo-tytanowych, nazywanych ceramikami PLZT. Przedstawiono wyniki badań jakości warstw za pomocą techniki XRD. wyniki pomiaru grubości warstw, ich względnej przenikalności dielektrycznej i współczynnika załamania. Omówiono kierunki dalszych prac.
-
Effect of buffer layers on performance of organic photovoltaic devices based on copper phthalocyanine-perylene dye heterojunction
PublicationPraca przedstawia wyniki badań układu fotowoltaicznego złożonego z cienkich warstw organicznych tworzących złącze (CuPc i MePTCDI), elektrod (ITO i Ag) oraz z warstw buforowych (MoO3 przy ITO i BCP przy Ag).
-
Structural studies of titanium oxide multilayers
PublicationW pracy przedstawiono wyniki badań cienkich warstw TiO2 przy wykorzystaniu dyfrakcji rentgenowskiej i anihilacji pozytonów. Warstwy były wytwarzane różnymi metodami. Badania pozwalają na określenie optymalnych, z punktu widzenia późniejszych zastosowań, parametrów warstw.
-
Study of structural and optical properties of tio2:tb thin films prepared by high energy reactive magnetron sputtering method
Publicationw pracy zaprezentowano wyniki badań optycznych i strukturalnych cienkich warstw na bazie domieszkowanego tlenku tytanu. warstwy tlenkowe wytworzono zmodyfikowaną metodą rozpylania magnetronowego z targetu mozaikowego w atmosferze tlenu. badania strukturalne wykazały nanokrystaliczność badanych warstw.
-
Thin LSFO films for bolometers
PublicationPrzedstawiono metodę produkcji oraz temperaturowe zależności rezystancji cienkich warstw niestechiometrycznych tlenków (La,Sr)FeO3 (LSFO) przeznaczonych do zastosowań na detektory podczerwieni
-
Cavitation erosion of heterogeneous thin coatings produced by means of laser cladding
PublicationPrzedstawiono badania odporności kawitacyjnej cienkich heterogenicznych warstw nakładanych metodami laserowymi na stal 45. Wykazano dobrą przyczepność i wysoką odporność kawitacyjną wykonanych powłok.
-
In plane and out of plane temperature dependencies of the resistivity insingle crystals and films of Nd2CuO4.
PublicationW pracy przedstawiono temperaturową zależność oporu elektrycznego kryształów i cienkich warstw związku Nd2CuO4. Dyskutowany jest wpływ temperatury i atmosfery dodatkowej obróbki termicznej na własności transportowe.
-
Structure of sol-gel derived Nb2O5 films for active coating devices
PublicationW artykule przedstawiono wyniki badań struktury cienkich warstw nb2o5 otrzymywanych metodą zol-żel. wytworzone warstwy charakteryzowano pod kątem zastosowania jako materiałów na aktywne pokrycia fotoniczne.
-
Raman investigation of sol-gel-derived hybrid polymers for optoelectronics
PublicationPrzedstawiono wykorzystanie spektroskopii ramanowskiej do kompleksowej diagnostyki polimerów hybrydowych stosowanych w optoelektronice. Zbadano efektywność kolejnych etapów procesu technologicznego: od monomerów do etapu produktu finalnego - cienkich warstw.
-
On electrical and photoconductive properties of mixed Nb2O5/TiO2 sol-gel thin films
PublicationPraca prezentuje wyniki przewodnictwa elektrycznego i fotoprzewodnictwa cienkich warstw TiO2 i Nb2O5/TiO2 otrzymanych metodą zol-żel. Pomiary przeprowadzono w funkcji temperatury i natężenia oświetlenia zarówno w próżni jak i w powietrzu. Struktura warstw została zbadana metodami XRD oraz AFM. W pracy zaobserwowano zaobserwowano spadek fotoprzewodnictwa wraz z zawartością Nb2O5
-
Dielectric properties of zinc phthalocyanine thin films: effect of annealing in air and in N2
PublicationPraca przedstawia wyniki badań wpływu atmosfery, w szczególności tlenu i wilgotności, na dielektryczne widma cienkich warstw ftalocyjaniny cynku zaopatrzonych w elektrody palczaste oraz wpływu wygrzewania w suchym azocie lub w powietrzu.
-
Gasochromic effect in nanocrystalline TiO2 thin films doped with Ta and Pd
Publicationw pracy zebrano wyniki badań cienkich warstw domieszkowanego tlenku tytanu. w szczególności zaprezentowano zmianę przezroczystości pod wpływem działania par alkoholu etylowego. badane warstwy zostały naniesione na szklane podłoże metodą rozpylania magnetronowego.
-
Properties of nanocrystalline TiO2:V thin films as a transparent semiconducting oxides
Publicationw pracy zaprezentowano wyniki badań cienkich warstw tlenku tytanu domieszkowanego wanadem. badany materiał charakteryzowano pod kątem wykorzystania, jako przezroczysty tlenek półprzewodnikowy (tos). warstwy zostały naniesione metodą rozpylania magnetronowego na szklane podłoża.
-
Selected perowskite type LSFO thin films for the infrared detectors
PublicationPrzedstawiono technologię wytwarzania cienkich warstw ceramicznych tlenków lantanowo-strontowo-żelazowych (LSFO). Zaprezentowano konstrukcję bolometrycznych detektorów podczerwieni wykonanych z opracowanych warstw. Przedstawiono charakterystyki prądowo-napięciowe wybranych detektorów, wyniki pomiaru ich szumów i termicznej stałej czasowej. Przedstawione detektory były w stanie wykryć obiekt o temperaturze 38 stopni Celcjusza znajdujący...
-
Szybkie wykrywanie wirusa grypy we wczesnej fazie rozwoju za pomocą sensorów nanodiamentowych domieszkowanych borem
PublicationPrzedstawiono konstrukcję i wyniki wstępnych badań szybkiego elektrochemicznego sensora wykonanego na bazie cienkich warstw nanokrystalicznego diamentu domieszkowanego borem, który umożliwia wykrywanie śladowych ilości wirusa grypy we wczesnej fazie rozwoju. Zapewnia to identyfikację ognisk pandemii.
-
Szybkie elektrooptyczne układy próbkujące wykorzystujące ferroelektryczną ceramikę PLZT
PublicationW artykule omówiono konstrukcje elektrooptycznych układów próbkujących wykorzystujących ceramikę PLZT. Zaprezentowano także zagadnienia związane z pomiarami istotnych parametrów cienkich warstw tej ceramiki - grubości warstwy, współczynnika załamania i współczynnika elektrooptycznego. Przedstawiono kierunki dalszych prac.
-
Superconducting properties of NbN-SiO2 sol-gel derived thin films
PublicationPraca przedstawia wyniki badań właściwości nadprzewodzących cienkich warstw xNbN-(100-x)SiO2, gdzie x = 80 mol%, o różnych grubościach (od 450 do 1950 nm. Badania przeprowadzono w oparciu o pomiary przewodnictwa elektrycznego w polu i bez pola magnetycznego. Właściwości nadprzewodzące warstw zależą od ich grubości. Przejście nadprzewodzące warstw jest szerokie, co związane jest z aktywowanym termicznie pełzaniem strumienia pola...
-
Porowate nanostruktury anatazu wytwarzane z Ti oraz TiO2 metodą PLD
PublicationNiniejsza praca dotyczy wytwarzania cienkich warstw dwutlenku tytanu metodą PLD. Za pomocą technik spektroskopowych zbadany został wpływ wartości ciśnienia gazu osłonowego na otrzymywane struktury krystaliczne w warstwach. Obserwowano także zależność uzyskanych faz krystalicznych od rodzaju odparowywanego materiału.
-
Transport Properties of Nitrided VN-SiO2 Sol-Gel derived films
PublicationPraca dotyczy transportu elektrycznego stałoprądowego cienkich warstw xVN-(100-x)SiO2 (gdzie x = 90, 80, 70, 60 mol%)otrzymanych w wyniku termicznego azotowania warstw tlenkowych otrzymanych metodą zol-żel. W warstwach obserwuje się granule VN rozdyspergowane w amorficznej matrycy SiO2. Warstwy wykazują przejście nadprzewodzące w temperaturze około 7,5K. W stanie normalnym ich przewodnictwo można opisać modelem charaktrystycznym...
-
Mobility measurements in oxide semiconductors
PublicationPraca zawiera wyniki badań właściwości elektrycznych, optycznych i strukturalnych cienkich warstw ito i sno2. badania wykazały, że cienkie warstwy tlenków metali wykazują rezystywność charakterystyczną dla półprzewodników. poziom transmisji światła w zakresie widzialnym pozwala zaliczyć badane warstwy do materiałów przezroczystych. badane cienkie warstwy wykonano metodą rozpylania magnetronowego.
-
Electrical and mechanical properties of nitrided sol-gel derived TiO2 and SiO2-TiO2 films
PublicationW pracy opisano właściwości elektryczne i mechaniczne cienkich warstw zawierających TiN. Warstwy tlenkowe TiO2 i TiO2-SiO2 zostały przygotowane metodą zol-żel i następnie poddane procesowi amonolizy. Przewodność elektryczna została zmierzona w zaktesie temperatur 10-900K. Warstwy o dużej zawartości TiN charakteryzują się małą energią aktywacji, poniżej 0,1eV. Badania wykazały dużą twardość próbek o wysokiej zawartości TiN.