Wyszukiwarka
dr inż. Piotr Wroczyński
Publikacje
Filtry
wszystkich: 22
Katalog Publikacji
Rok 2010
-
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
PublikacjaPrzedstawiono wybrane problemy diagnostyki ramanowskiej in-situ wzrostu cienkich warstw węglowych w prózniowym procesie CVD, w szczególności problemy doboru długości fali lasera oraz konstrucji głowic optycznych. Opisano system pomiarowy zrealizowany w Katedrze Optoelektroniki i Systemów Elektronicznych PG. Przedstawiono wyniki wstępnych pomiarów oraz ich interpretację.
-
Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych-studium
PublikacjaPrzedstawiono zagadnienia monitorowania in-situ prózniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, a w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnych (zawartości faz węglowych sp2 i sp3, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii in-situ podczas procesu syntezy pozwala monotorować poprawność przebiegu procesu i opracować...
-
Optoelectronic system for monitoring of thin diamond layers growth
PublikacjaDevelopment of the optoelectronic system for monitoring of diamond/DLC (Diamond-Like-Carbon) thin films growth during mu PA ECR CVD (Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition) process is described. The multi-point Optical Emission Spectroscopy (OES) and Raman spectroscopy were employed as non-invasive optoelectronic tools. Dissociation of H-2 molecules, excitation and ionization of hydrogen...
Rok 2009
-
Long-working-distance Raman system for monitoring of uPA ECR CVD process of thin diamond/DLC layers growth
PublikacjaW artykule przedstawiono konstrucję systemu optoelektronicznego do monitoringu ramanowskiego in-situ procesu μPA ECR CVD (ang.: Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition), stosowanego do osadzania cienkich warstw diamentowych i diamentopodobnych DLC. System ma budowę modułową i wyposażony jest w dedykowane sondy optyczne. Przedstawiono wyniki pomiarów testowych, potwierdzjące, że system posiada...
-
Optoelectronic system for investigation of cvd diamond/DLC layers growth
PublikacjaDevelopment of the optoelectronic system for non-invasive monitoring of diamond/DLC (Diamond-Like-Carbon) thin films growth during μPA ECR CVD (Microwave Plasma Assisted Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapour Deposition) process is described. The system uses multi-point Optical Emission Spectroscopy (OES) and long-working-distance Raman spectroscopy. Dissociation of H2 molecules, excitation and ionization of hydrogen atoms...
Rok 2008
-
Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych
PublikacjaW pracy przedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, wykorzystywanych do wytwarzania cienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano przestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plaźmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzęgniętych z komorą CVD za pomocą...
-
Optoelektroniczne narzędzia do badania in-situ przebiegu procesu syntezy cienkich warstw diamentopodobnych
PublikacjaPrzedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, wykorzystywanych do wytwarzania cienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano przestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plaźmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzęgniętych z komorą CVD za pomocą dedykowanych...
-
System optoelektroniczny do kontroli procesów μPA CVD
PublikacjaPrzedstawiono prototyp optoelektronicznego systemu do monitorowania in-situ procesu CVD, wspomaganych plazmą mikrofalową. System składa się z układu optycznej spektroskopii emisyjnej OES oraz specjalizowanego spektroskopu ramanowskiego RS. Umożliwia on równoczesne monitorowanie składu plazmy oraz określanie dynamiki wzrostu i zawartości defektów warstwy. Przedstawiono wyniki badań przebiegu procesu wytwarzania warstw diamentopodobnych...
Rok 2007
-
Synteza warstw diamentowych do zastosowań optoelektronicznych
PublikacjaDiamenty stosowane w optoelektronice i sensoryce syntetyzowane są w próżni przy użyciu plazmy niskotemperaturowej. Nanostruktury powstają przez wzrost struktur z molekuł, a nawet atomów. Wytwarzanie nanostruktur wymaga precyzyjnego monitoringu procesu syntezy. Optoelektroniczne metody pomiarowe zapewniają kontrolę wzrostu warstw oraz ocenę in situ parametrów materiałowych. W artykule przedstawiono optoelektroniczne metody badania...
-
WOPT-uniwersalny system do analizy i symulacji widm optycznych cienkich struktur dielektrycznych
PublikacjaPrzedstawiono system WOPT umożliwiający symulację złożonych, dielektrycznych powłok cienkowarstwowych. Oprogramowanie służy zarówno do projektowania specjalistycznych wielowarstwowych powłok optycznych jak i do kontroli parametrów gotowych produktów cienkowarstwowych. Za pomocą programu można wykonać analizę grubości oraz optycznych parametrów materiałowych powłok dielektrycznych na postawie wykonanych pomiarów spektralnych. Wykonano...
Rok 2006
-
Optoelectronic monitoring of plasma discharge optimized for thin diamond film synthesis
PublikacjaPraca dotyczy optoelektronicznego monitoringu wyładowań jarzeniowych podczas syntezy diamentu cienkowarstwowego. Analizę składu plazmy wykonano za pomoca optycznej spektroskopii emisyjnej. Badania mają na celu zdalne określenie składu plazmy oraz jego wpływu na systezę warstw diamentopodobnych.
-
Raman modular system with fibre-optic probes for remote monitoring of CVD process
PublikacjaW pracy opisano konstrukcję modułowego spektroskopu ramanowskiego umożliwiającego monitorowanie wzrostu warstw w procesach CVD. Przedstawiono rezultaty testów skostruowanego układu oraz wstępne wyniki pomiarów warstw diamentowych.
-
Wytłaczanie past ceramicznych - optyczny monitoring poślizgu przyściennego
PublikacjaPrzedmiotem niniejszej pracy jest optyczna metoda spektroskopii reflektancyjnej do pomiaru in situ grubości warstwy przyściennej w procesie wytłaczania past ceramicznych, którą można stosować bez zakłócania przebiegu procesu. Może ona znaleźć zastosowanie do dostarczania danych w analizie i modelowaniu procesu wytłaczania, a także do kontroli on-line przebiegu procesu produkcyjnego.
Rok 2005
-
Optical monitoring of thin oil film thickness in extrusion processes
PublikacjaPraca porusza problem pomiaru grubości cienkiej warstwy przyściennej -oleju, podczas procesu wyciskania ceramiki modelowej. Szczegółowo opisuje zjawiska fizyczne zachodzące w warstwie przyściennej oraz dynamiczne parametry wykorzystywane do oceny grubości. Autorzy opisują także metodę pomiaru oraz konstrukcję układów pomiarowych.
-
Optyczny tester chropowatości powierzchni szyb samochodowych
PublikacjaSzyby samochodowe w okresie eksploatacji ulegają uszkodzeniom czego wynikiem są kratery i zarysowania. Obecnie, stan powierzchni szyb samochodowych oceniany jest subiektywnie przez pracowników stacji diagnostycznych. Nie istnieją normy określające sposób badania chropowatości powierzchni szyb ani też przepisy, na postawie których można by określać jakość powierzchni eksploatowanej szyby. Zaproponowano metodę oceny stanu powierzchni...
Rok 2004
-
Diagnostics of cvd process by means of optical emission spectroscopy.
PublikacjaZastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania z par gazowych wspomaganego plazmą mikrofalową (mPACVD). Zbudowano tor światłodowy, umożliwiający sprzężenie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne...
-
Diagnostyka procesu CVD metodą optycznej spektroskopii emisyjnej. Diagnostics of CVD process by means of optical emission spectroscopy.
PublikacjaZastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania z par gazowych wspomaganego plazmą mikrofalową (mPACVD). Zbudowano tor światłowodowy, umożliwiający sprzężenie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne...
-
Optical measurements for thin oil film investigation in rheometric processes.
PublikacjaPrzedmiotem badań jest pomiar parametrów cienkiej warstwy oleju silikonowego AK106, powstającej na ścianach dyszy w trakcie procesu reologicznego wyciskania do form past ceramicznych, przygotowywanych ze sproszkowanego tlenków wodorotlenków AlOOH oraz oleju AK106. Parametrami badanymi były: grubość warstwy oleju, charakterystyka reflektancyjna pasty oraz skład mieszaniny. Przedstawione zagadnienie ma istotne znaczenie dla rozwoju...
-
Optoelektroniczne metody pomiaru grubości cienkich transparentnych warstw wytwarzanych w procesach próżniowych.
PublikacjaW artykule opisano problemy związane z określaniem grubości cienkich transparentnych warstw dielektrycznych, syntetyzowanych w procesach próżniowych. Przedstawiono stosowane metody pomiarowe, szczególny nacisk kładąc na techniki optoelektroniczne, oparte na badaniu interferencji i zmiany stanu polaryzacji światła w wyniku oddziaływania z cienką warstwą oraz na analizie spektralnej. Opisano praktyczne układy, umożliwiające pomiary...
Rok 2003
-
"Car-Parrinello molecular dynamics" jako kluczowe narzędzie informatyczne w badaniach syntezy cienkich warstw diamentowych metodą PA CVD
PublikacjaPraca omawia zastosowanie metody Car-Parrinello MD w symulacji procesu wzrostu cienkich warstw diamentowych w metodzie PAC VD.
-
Raman and infrared investigation of ferroelectric ceramics. IV Workshop on Atomic and Molecular Physics.
PublikacjaZastosowano spektroskopię absorbcyjną w podczerwieni i spektroskopię Ramana do badania ceramik ferroelektrycznych o kompozycji Ba(Ti1-xZrx)O3. Ceramiki te charakteryzują się możliwością przestrajania przenikalności elektrycznej za pomocą pola elektrycznego.
Rok 2002
-
Raman investigation of sol-gel-derived hybrid polymers for optoelectronics
PublikacjaPrzedstawiono wykorzystanie spektroskopii ramanowskiej do kompleksowej diagnostyki polimerów hybrydowych stosowanych w optoelektronice. Zbadano efektywność kolejnych etapów procesu technologicznego: od monomerów do etapu produktu finalnego - cienkich warstw.
wyświetlono 1053 razy